特許
J-GLOBAL ID：201303041866265093
液状材料塗布装置およびそれを含む欠陥修正装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-144055
公開番号（公開出願番号）：特開2013-109315
出願日： 2012年06月27日
公開日（公表日）： 2013年06月06日
要約：
【課題】塗布針と基板との接触圧力の軽減が可能な塗布装置および本塗布装置を搭載した欠陥修正装置を提供する。【解決手段】基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、支持部材との距離が一定となるように設定された基板と塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板上の微細領域に液状材料を塗布して欠陥を修正するための液状材料塗布装置において、
前記微細領域に液状材料を塗布する塗布針と、
前記塗布針を上下方向に移動させるためのスライド機構と、
前記スライド機構を上下方向に移動可能に支持する支持部材と、
前記支持部材との距離が一定となるように設定された前記基板と前記塗布針との接触圧力を軽減する接触圧力軽減機構とを備える、液状材料塗布装置。
IPC (4件)：
G02B 5/20
, G02F 1/133
, G02F 1/13
, B05C 1/02
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, G02F1/13 101
, B05C1/02 101
2H048BA02
, 2H048BA11
, 2H048BB02
, 2H048BB42
, 2H088FA14
, 2H088FA30
, 2H088MA20
, 2H191FA02Y
, 2H191FC41
, 2H191LA13
, 4F040AA12
, 4F040AA14
, 4F040AA31
, 4F040AB04
, 4F040BA04
, 4F040CA05
, 4F040CA09
, 4F040CA13
