形状測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：光石俊郎 , 光石忠敬 , 光石春平 , 田中康幸 , 松元洋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-027408
公開番号（公開出願番号）：特開2013-164329
出願日： 2012年02月10日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：

【課題】ラインレーザ光におけるスキャン方向の向きを容易に校正することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】ワークの基準ボルト孔に取り付けられた基準ボルトのボルト頭部までの距離を測定する距離センサ15を、X軸方向と平行となる第1スキャン方向にラインレーザ光Lを照射する第1スキャン位置P1と、Y軸方向と平行となる第2スキャン方向にラインレーザ光Lを照射する第2スキャン位置P2との間で、回転可能に支持し、スキャン位置P1,P2に位置決めされた距離センサ15が測定した校正用被測定面31までの測定距離に基づいて、そのラインレーザ光Lが照射された校正用被測定面31の部位に対応する断面形状を演算し、距離センサ15を断面形状に応じて回転させることにより、ラインレーザ光Lにおけるスキャン方向の向きを校正する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

被測定面及び当該被測定面から所定の高さで突出した被測定突出部に対して、線状のラインレーザ光を照射し、その照射したラインレーザ光の反射光を受光することにより、前記被測定突出部までの距離を測定する測定手段と、前記被測定突出部の高さ方向と直交する第1軸方向と平行となる第1スキャン方向にラインレーザ光を照射する第1スキャン位置と、前記被測定突出部の高さ方向及び前記第1軸方向と直交する第2軸方向と平行となる第2スキャン方向にラインレーザ光を照射する第2スキャン位置との間で、前記測定手段を回転させる回転手段と、前記回転手段により前記第1スキャン位置に位置決めされた前記測定手段の測定距離と、前記回転手段により前記第2スキャン位置に位置決めされた前記測定手段の測定距離とに基づいて、前記被測定突出部の形状を演算する演算手段と、前記第1軸方向と平行となるように対向配置される2つの第1の辺と、前記第2軸方向と平行となるように対向配置される2つの第2の辺とを有する校正用被測定面が設けられる校正用治具と、前記第1スキャン位置に位置決めされた前記測定手段が測定した前記校正用被測定面までの測定距離に基づいて、そのラインレーザ光が照射された前記校正用被測定面の部位に対応する第1断面形状を演算し、前記測定手段を前記回転手段により前記第1断面形状に応じて回転させることにより、ラインレーザ光における第1スキャン方向の向きを校正すると共に、前記第2スキャン位置に位置決めされた前記測定手段が測定した前記校正用被測定面までの測定距離に基づいて、そのラインレーザ光が照射された前記校正用被測定面の部位に対応する第2断面形状を演算し、前記測定手段を前記回転手段により前記第2断面形状に応じて回転させることにより、ラインレーザ光における第2スキャン方向の向きを校正する校正手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。

IPC (1件)：

G01B 11/24

FI (1件)：

G01B11/24 A

Fターム (13件)：

2F065AA06 , 2F065AA21 , 2F065AA51 , 2F065AA52 , 2F065BB05 , 2F065GG04 , 2F065HH05 , 2F065MM11 , 2F065MM15 , 2F065PP01 , 2F065PP22 , 2F065QQ29 , 2F065RR03

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