特許

J-GLOBAL ID：201303042058683275

基板バッファ並びに有機ELデバイス製造装置及び同製造方法

発明者： 福島 真 ,  圖師 庵
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121432
公開番号（公開出願番号）：特開2013-247302
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
要約：

【課題】基板保持アームのピッチをより狭くできる基板バッファを、または前記基板バッファを真空にした真空基板バッファチャンバを用い、稼働率に高い有機ELデバイス製造装置及び同製造方法を提供する。【解決手段】基板6を載置する互いに平行に配置された複数の基板保持アーム33を備える保持段32を複数内在し、基板を搬入出な可能な搬入出面を有するボックスと、ボックスを昇降させる昇降手段とを備え、複数の基板保持アームの搬入出面側に設けられた孔に向けて検出光を発光し、孔を通った検出光を受光し、受光した検出結果に基づいて基板保持アームの変形異常を検出することを特徴とする。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

基板を載置する互いに平行に配置された複数の基板保持アームを備える保持段を複数内在し、前記基板を搬入出な可能な搬入出面を有するボックスと、前記ボックスを昇降させる昇降手段とを有する基板バッファにおいて、 複数の前記基板保持アームの前記搬入出面側に設けられた検出光が通る孔と、前記検出光を前記孔に向けて発光部を備える発光手段と、前記孔を通った前記検出光を受光する受光部を備える受光手段と、前記受光手段の検出結果に基づいて前記基板保持アームの変形異常を検出する送受光処理部とを備える変形検出機構を有することを特徴とする基板バッファ。

IPC (2件)：

H01L 21/673 ,  B65G 49/06

FI (2件)：

H01L21/68 T ,  B65G49/06 Z

Fターム (26件)：

5F131AA03 ,  5F131AA33 ,  5F131BA03 ,  5F131BA04 ,  5F131BA23 ,  5F131BB03 ,  5F131BB04 ,  5F131CA39 ,  5F131DA02 ,  5F131DA22 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA37 ,  5F131DB02 ,  5F131DB52 ,  5F131DB72 ,  5F131DB76 ,  5F131DB82 ,  5F131GB03 ,  5F131GB13 ,  5F131GB24 ,  5F131HA14 ,  5F131KA03 ,  5F131KA15 ,  5F131KA44 ,  5F131KB45