特許

J-GLOBAL ID：201303042159644009

液晶表示装置の製造方法

発明者： 市村 照彦 ,  北村 茂樹 ,  伊藤 弘晃
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-212286
公開番号（公開出願番号）：特開2013-073043
出願日： 2011年09月28日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：

【課題】本発明は、製造工程を単純化して透明導電膜上に金属膜が積層された積層構造を有する共通電極配線を製造することができる液晶表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】液晶表示装置の製造方法であって、透明導電膜10上に金属膜11が積層された積層構造を有する枠状の共通電極配線12と、透明導電膜10の配線幅よりも小さい配線幅を有する共通電極13と、共通電極配線12の透明導電膜10の配線幅よりも小さい配線幅を有する画素電極14とからなる横電界方式において、感光性樹脂膜15をエッチングマスクにして等方性エッチングにより、共通電極13および画素電極14となる透明導電膜10上に積層された、感光性樹脂膜15の下側に位置する金属膜11を除去するとともに、共通電極配線12となる透明導電膜上10に積層された、感光性樹脂15の下側に位置する金属膜11の側面の一部を除去する工程を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

透明基板上に、複数のゲート配線と、複数の該ゲート配線に交差するように配置された複数のソース配線と、該ソース配線を覆うように形成された絶縁膜とが設けられ、複数の前記ゲート配線および複数の前記ソース配線によって囲まれた領域を画素領域として、該画素領域のそれぞれに対して同一平面内に、前記ゲート配線または前記ソース配線に重畳された、透明導電膜上に金属膜が積層された積層構造を有する枠状の共通電極配線と、該共通電極配線の前記透明導電膜から前記画素領域の中央部に向かって延長された、前記透明導電膜の配線幅よりも小さい配線幅を有する共通電極と、前記画素領域内に前記透明導電膜と同一材料で形成された、前記共通電極配線の前記透明導電膜の配線幅よりも小さい配線幅を有する、前記共通電極との間で電界を形成するための画素電極とを備えた液晶表示装置の製造方法であって、 複数の前記ゲート配線と、複数の該ゲート配線に交差するように配置された複数の前記ソース配線と、該ソース配線を覆うように形成された前記絶縁膜とが設けられた透明基板を準備する工程と、 前記透明基板の前記絶縁膜上に前記透明導電膜と前記金属膜とを順次形成する工程と、 前記金属膜上に感光性樹脂膜を形成する工程と、 フォトリソグラフィにより、前記感光性樹脂膜を前記共通電極配線、前記共通電極および前記画素電極のパターン形状になるようにパターニングする工程と、 パターニングされた前記感光性樹脂膜をエッチングマスクとして、前記金属膜および前記透明導電膜を順次エッチングして、前記共通電極配線、前記共通電極および前記画素電極のパターン形状にパターニングする工程と、 パターニングされた前記感光性樹脂膜をエッチングマスクとして、等方性エッチングにより、前記共通電極および前記画素電極となる前記透明導電膜上に積層された、前記感光性樹脂膜の下側に位置する前記金属膜を除去するとともに、前記共通電極配線となる前記透明導電膜上に積層された、前記感光性樹脂の下側に位置する前記金属膜の側面の一部を除去する工程と、 前記感光性樹脂膜を除去して、前記透明導電膜からなる前記共通電極および前記画素電極と、前記透明電極膜上に前記金属膜が積層された積層構造を有する前記共通電極配線とを形成する工程と を含むことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/134 ,  G02F 1/136 ,  H01L 29/786 ,  G09F 9/30 ,  G09F 9/00

FI (6件)：

G02F1/1343 ,  G02F1/1368 ,  H01L29/78 612C ,  G09F9/30 336 ,  G09F9/00 342Z ,  G09F9/00 338

Fターム (59件)：

2H092GA14 ,  2H092GA15 ,  2H092GA17 ,  2H092JA24 ,  2H092JA34 ,  2H092JA41 ,  2H092JB24 ,  2H092JB33 ,  2H092KA19 ,  2H092MA05 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  5C094AA43 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA13 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FA01 ,  5C094FA02 ,  5C094FB01 ,  5C094FB12 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5F110AA30 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110DD01 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE06 ,  5F110FF03 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG15 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL04 ,  5F110HL06 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN72 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435EE12 ,  5G435FF08 ,  5G435HH02 ,  5G435HH12 ,  5G435HH20 ,  5G435KK05