特許
J-GLOBAL ID：201303042180987544
検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-114537
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242190
出願日： 2012年05月18日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】光学的検査により複数の対象物を検査する検査装置において、メンテナンス性及び汎用性の高い検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】検査装置は、光を透過する複数の対象物を所定の位置にそれぞれ整列させた状態で検査を行う。検査装置は、前記対象物に向けて光を照射する光照射部と、前記光照射部から照射された光のうち各対象物の内部を透過した光のみを通過させるための光通過部と、該光通過部を通過した光を受光する受光部とを含む。各光通過部は、前記受光部と間隔をおきかつ分離可能なキャップを備える。該キャップは、前記対象物に接触する第1の開口と、該第1の開口に間隔をおいた第2の開口部分と、該第1及び第2の開口部分の間に介在する中継部分とを備える。前記中継部分は、前記第1の開口部分に対して略垂直方向に伸縮するように形成されている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
光を透過する複数の対象物を所定の位置にそれぞれ整列させた状態で検査する検査装置であって、
前記対象物に向けて光を照射する光照射部と、前記所定の位置に対応するようにそれぞれ位置し、前記光照射部から照射された光のうち各対象物の内部を透過した光のみを通過させるための光通過部と、該光通過部を通過した光を受光する受光部とを含み、
各光通過部は、前記受光部と間隔をおきかつ分離可能なキャップを備え、
該キャップは、前記対象物に接触する第1の開口と、該第1の開口に間隔をおいた第2の開口部分と、該第1及び第2の開口部分の間に介在する中継部分とを備え、
前記第1の開口部分は、前記対象物の外面に密着し、かつ前記対象物の内部を透過した光が前記対象物の外面を介して入光するように形成されており、
前記中継部分は、前記第1の開口部分から入光した光が前記第2の開口部分に向けて通過するように、かつ前記第1の開口部分に対して略垂直方向に伸縮するように形成されており、
前記第2の開口部分は、前記中継部分を通過した光が前記受光部に向けて出光するように形成されている、検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/59 Z
, G01N21/85 A
2G051AA33
, 2G051AB20
, 2G051BA10
, 2G051CA03
, 2G051CB02
, 2G051DA01
, 2G051EA16
, 2G059AA05
, 2G059BB11
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059GG01
, 2G059GG02
, 2G059KK01
, 2G059KK03
