特許
J-GLOBAL ID：201303042501886281
基板上の構造の測定
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-512808
公開番号（公開出願番号）：特表2013-534044
出願日： 2011年05月03日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：
回折モデルとスキャトロメトリを用いて基板上の微細構造(30)のモデルを再構築する。各々が複数のパラメータ(p1、p2など)によって表される複数の候補構造が画定される。各候補構造の照明をシミュレートすることで複数のモデル回折信号が計算される。モデル回折信号の1つ以上を構造(30)から検出された信号に合わせることで、構造が再構築される。候補構造の生成で、パラメータが固定又は可変に指定されるモデルレシピが使用される。可変パラメータのうち、ある種のパラメータは、線形制約条件などのある種の制約条件(A)に従って共に変化するように制約される。制約条件の最適化セット(990)、すなわち最適化モデルレシピ(994)が、ある測定値について1つ以上の対象パラメータを指定するユーザ入力(988)を参照し、再構築プロセスの再構築をシミュレートすることで決定される。最適化モデルレシピは、複数の候補モデルレシピを用いて基準構造セット(984)の再構築をシミュレートする「パラメータアドバイザ」プロセス(986)によって自動的に決定できる。基準構造の生成では、制限を適用して(985)、「非現実的な」パラメータの組合せを除外できる。【選択図】図12A
請求項（抜粋）：
基板上の構造の少なくとも1つのパラメータを測定する方法であって、前記方法は、
(a)所定の照明下での前記構造との放射の相互作用から発生する検出された信号を受信するステップと、
(b)モデルレシピに従って前記構造の数学的モデルのパラメータを変動させることで複数の候補構造を生成するステップと、
(c)前記候補構造の各々との前記所定の放射の相互作用をモデル化することで複数の候補モデル信号を計算するステップと、
(d)前記検出された信号を前記複数の候補モデル信号と比較して最良の一致するモデル信号を識別するステップと、
(e)ステップ(d)の比較の結果に基づいて、前記最良の一致するモデル信号に対応する前記候補構造の前記パラメータに基づいて前記構造の1つ以上のパラメータの測定値を報告するステップと、を含み、
前記モデルレシピは、前記パラメータのサブセット間の関係を定義する少なくとも1つの制約条件を含み、
ステップ(b)で、前記候補構造の生成時にパラメータの前記サブセットが前記制約条件に従って共に変動しなければならないように前記制約条件が適用され、それによって、前記サブセットの前記パラメータを固定パラメータとして扱うことなく前記モデル内の自由度数を低減する、方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/30 502V
, H01L21/30 514E
, G01B11/24 D
2F065AA21
, 2F065AA54
, 2F065BB02
, 2F065BB18
, 2F065CC19
, 2F065DD03
, 2F065DD06
, 2F065FF00
, 2F065FF41
, 2F065FF48
, 2F065GG24
, 2F065HH04
, 2F065HH12
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ08
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065LL04
, 2F065LL12
, 2F065LL22
, 2F065LL33
, 2F065LL46
, 2F065QQ24
, 2F065QQ26
, 2F065QQ31
, 2F065QQ39
, 2F065RR05
, 2F065UU05
, 5F146AA18
