耐溶剤性フッ素ゴム組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：吉田俊夫 , 吉田和子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-206123
公開番号（公開出願番号）：特開2002-020557
特許番号：特許第4783966号
出願日： 2000年07月07日
公開日（公表日）： 2002年01月23日
請求項（抜粋）：

【請求項1】エチレンまたはプロピレン、テトラフルオロエチレンおよびパーフルオロ(アルキルビニルエーテル)の3元共重合体ゴム100重量部、多官能性不飽和化合物0.5〜10重量部および有機過酸化物0.5〜5重量部を含有してなり、極性溶剤または非極性溶剤に曝される半導体製造装置のウエットプロセスで用いられる、補強剤および/または充填剤含有ゴム部品の成形材料として用いられる耐溶剤性フッ素ゴム組成物。

IPC (12件)：

C08L 23/08 ( 200 6.01) , C08F 210/02 ( 200 6.01) , C08F 210/06 ( 200 6.01) , C08F 214/26 ( 200 6.01) , C08F 216/14 ( 200 6.01) , C08K 5/00 ( 200 6.01) , C08K 5/14 ( 200 6.01) , C08L 23/14 ( 200 6.01) , C08L 27/18 ( 200 6.01) , C08L 29/10 ( 200 6.01) , F16J 15/10 ( 200 6.01) , H01L 21/306 ( 200 6.01)

FI (12件)：

C08L 23/08 , C08F 210/02 , C08F 210/06 , C08F 214/26 , C08F 216/14 , C08K 5/00 , C08K 5/14 , C08L 23/14 , C08L 27/18 , C08L 29/10 , F16J 15/10 G , H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

フルオロエラストマー組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-036364 出願人：イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
特開昭62-015212
特開昭62-015212

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