特許
J-GLOBAL ID：201303043373840865
基板製造装置及び基板製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
渡邊 隆
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-076635
公開番号（公開出願番号）：特開2013-219354
出願日： 2013年04月02日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】基板検査工程を効率的に遂行できる基板製造装置及び方法が提供される。【解決手段】本発明による基板製造装置は、基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含む。前記テストハンドラーモジュールは、基板を搬送するコンベヤーユニットと、基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ基板を搬送する搬送ユニットと、を包含することができる。前記コンベヤーユニットは供給コンベヤーと前記供給コンベヤーから離隔された排出コンベヤーを有することができる。【選択図】図14
請求項（抜粋）：
基板を製造する装置において、
前記基板に対して検査工程を遂行するテストハンドラーモジュールを有する検査装置を含み、
前記テストハンドラーモジュールは、
前記基板を搬送するコンベヤーユニットと、
前記基板上の複数の単位基板に対して前記検査工程を遂行するハンドラーユニットと、
前記コンベヤーユニットと前記ハンドラーユニットとの間へ前記基板を搬送する搬送ユニットと、を含み、
前記コンベヤーユニットは、
供給コンベヤーと、
前記供給コンベヤーから離隔された排出コンベヤーと、を有する基板製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2G036AA27
, 2G036BB12
, 2G036CA03
, 2G036CA04
