特許
J-GLOBAL ID：201303043434406950

切削ブレードの刃先位置検出方法

発明者：
久保 雅裕

久保 雅裕 について

, 
和泉 邦治

和泉 邦治 について

, 
神垣 政圭

神垣 政圭 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-126428
公開番号（公開出願番号）：特開2013-251457
出願日： 2012年06月01日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】短時間で切削ブレードの刃先位置を検出することができる切削ブレードの刃先位置検出方法を提供すること。【解決手段】チャックテーブルと、切削ブレード21が装着された切削手段と、切り込み送り手段と、刃先検出手段と、を備えた切削装置における切削ブレードの刃先位置検出方法であって、切削ブレードを第一の原点Z01から刃先検出手段に向かって第一の速度V1で切り込み送り方向に移動させ、第一の速度変更位置Z11で第二の速度V2に減速し、刃先検出手段の発光部と受光部との間に切削ブレードを侵入させて切削ブレードを検出する粗検出工程と、粗検出工程の後に、第二の原点Z02から、切削ブレードを第三の速度V3で切り込み送り方向に移動させ、第二の速度変更位置Z12で第四の速度V4に更に減速して、刃先検出手段の発光部と受光部との間に切削ブレードを侵入させて切削ブレードを検出する精密検出工程と、を含んで構成される。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面に保持された被加工物を切削する切削ブレードが装着されたスピンドルを含む切削手段と、該切削手段を該チャックテーブルに対して切り込み送り方向に移動させる切り込み送り手段と、発光部と受光部とを有し該切削ブレードの該切り込み送り方向での先端位置を検出する刃先検出手段と、を備えた切削装置における該切削ブレードの刃先位置検出方法であって、 該切削ブレードを第一の原点から該刃先検出手段に向かって第一の速度で該切り込み送り方向に移動させ、第一の速度変更位置で第二の速度に減速し、該刃先検出手段の該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを侵入させ、該発光部からの光線を所定量遮断することで該切削ブレードの該先端位置を検出する粗検出工程と、 該粗検出工程の後に、該第一の速度変更位置と該刃先検出手段との間の該刃先検出手段寄りの位置であって、かつ該切削ブレードが該発光部からの光線を遮断しない第二の原点から、該切削ブレードを該第一の速度よりも低速な第三の速度で該切り込み送り方向に移動させ、該粗検出工程での検出位置に対して検出誤差範囲よりも該第二の原点よりに離間した第二の速度変更位置で第四の速度に更に減速して、該刃先検出手段の該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを侵入させ、該発光部からの光線を所定量遮断することで該切削ブレードの該先端位置を検出する精密検出工程と、 を含んで構成されることを特徴とする切削ブレードの刃先位置検出方法。
IPC (1件)：
H01L 21/301
FI (1件)：
H01L21/78 F
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM