特許
J-GLOBAL ID：201303044108291570
基板処理装置及び基板処理方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
井上 俊夫
, 三井田 友昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-026387
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165119
出願日： 2012年02月09日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【課題】保持部材上の基板のずれ量を取得することにより、ずれ量が許容範囲に収まる状態で他のモジュールに基板を受け渡すこと。【解決手段】一のモジュール(加熱モジュール)からフォーク3AがウエハWを受け取ったときに、フォーク3A上の基準位置からのずれ量を求め、このずれ量が許容範囲に収まっているときには、搬送アームA3によりウエハWを他のモジュール(温調モジュール)に搬送し、検出値が許容範囲から外れているときには、仮置きモジュール71に搬送する。仮置きモジュール71では、前記ずれ量が許容範囲に収まるように、搬送アームA3が当該ウエハWを受け渡し、次いで受け取っているので、ずれ量が許容範囲に収まる状態で温調モジュールに基板を受け渡すことができる。【選択図】図25
請求項（抜粋）：
基板を保持し、水平方向に移動自在な保持部材を備え、基板を一のモジュールから他のモジュールに受け渡す基板搬送機構と、
保持部材が一のモジュールから基板を受け取った後、他のモジュールに搬送する前に、保持部材上の基板の位置を検出する検出部と、
前記検出部の検出結果に基づいて、保持部材上の基板の基準位置に対するずれ量を求める演算部と、
前記基板搬送機構が、前記一のモジュールから受け取った基板を仮置きするための仮置きモジュールと、
前記演算部にて得られたずれ量の検出値と、ずれ量の許容範囲とを比較し、検出値が許容範囲に収まっているときには、基板搬送機構により基板を他のモジュールに搬送し、検出値が許容範囲から外れているときには、前記検出値が許容範囲に収まるように、基板搬送機構が当該基板を仮置きモジュールに受け渡し、次いで受け取るための制御信号を出力する制御部と、を備えることを特徴とする基板処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/677
, H01L 21/027
H01L21/68 F
, H01L21/68 A
, H01L21/30 502J
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA12
, 5F031FA15
, 5F031GA03
, 5F031GA06
, 5F031GA36
, 5F031GA48
, 5F031GA49
, 5F031HA37
, 5F031JA03
, 5F031JA04
, 5F031JA05
, 5F031JA17
, 5F031JA29
, 5F031JA32
, 5F031KA11
, 5F031MA02
, 5F031MA03
, 5F031MA06
, 5F031MA26
, 5F146CD01
, 5F146CD06
, 5F146DB04
, 5F146DC10
