特許
J-GLOBAL ID：201303044193258749
トレンチ埋め込み用樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 中村 和広
, 齋藤 都子
, 三間 俊介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-183054
公開番号（公開出願番号）：特開2013-016823
出願日： 2012年08月22日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：
【課題】基体に形成されたトレンチ内に酸化シリコンを埋め込むために使用するのに好適なトレンチ埋め込み用樹脂組成物を提供すること。【解決手段】本発明に係るトレンチ埋め込み用樹脂組成物は、酸化シリコン粒子をトレンチ埋め込み用樹脂組成物全体に対して0.35重量%以上2.20重量%以下で、並びに、一般式(1)〜(3)で表される化合物の合計に対して、一般式(1):Si(OR1)4で表されるテトラアルキシキシラン化合物を45mol%以上87mol%以下で、一般式(2):R2Si(OR1)3で表されるトリアルコキシシラン化合物を10mol%以上50mol%以下で、そして一般式(3):R22Si(OR1)2で表されるジアルコキシシラン化合物を1.5mol%以上3.6mol%以下で含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
酸化シリコン粒子と、
下記一般式(1):
Si(OR1)4
{式中、R1は、一般式(1)内で及び一般式(1)〜(3)の間でそれぞれ独立に、炭素数1〜5のアルキル基である。}で表されるテトラアルコキシシラン化合物又はその加水分解縮合物と、
下記一般式(2):
R2Si(OR1)3
{式中、R1は、一般式(2)内で及び一般式(1)〜(3)の間でそれぞれ独立に、炭素数1〜5のアルキル基であり、そしてR2は、一般式(2)と(3)の間で独立して水素原子又は炭素数1〜10の炭化水素基である。}で表されるトリアルコキシシラン化合物又はその加水分解縮合物とからなる縮合反応物(A)、並びに
上記一般式(1)で表されるテトラアルコキシシラン化合物又はその加水分解縮合物と、
下記一般式(3):
R22Si(OR1)2
{式中、R1は、一般式(3)内で及び一般式(1)〜(3)の間でそれぞれ独立に、炭素数1〜5のアルキル基であり、そしてR2は、一般式(3)内で及び一般式(1)〜(3)の間でそれぞれ独立に、水素原子又は炭素数1〜10の炭化水素基である。}で表されるジアルコキシシラン化合物又はその加水分解縮合物とからなる縮合反応物(B)、
を含有するトレンチ埋め込み用樹脂組成物であって、トレンチ埋め込み用樹脂組成物全体に対して、該酸化シリコン粒子は0.35質量%以上2.20質量%以下で含有され、そして前記縮合反応において使用される一般式(1)〜(3)でそれぞれ表されるテトラ〜ジアルコキシシラン化合物の合計に対して、一般式(1)で表されるテトラアルコキシシランは47mol%以上87mol%以下で、一般式(2)で表されるトリアルコキシシランは10mol%以上50mol%以下で、かつ、一般式(3)で表されるジアルコキシシランは1.5mol%以上3.6mol%以下で使用されることを特徴とする前記組成物。
IPC (3件)：
H01L 21/316
, H01L 21/76
, C08G 77/18
H01L21/316 G
, H01L21/76 L
, C08G77/18
4J246AA03
, 4J246BA14X
, 4J246BA140
, 4J246BA16
, 4J246BB02X
, 4J246BB020
, 4J246CA13U
, 4J246CA13X
, 4J246CA130
, 4J246CA14X
, 4J246CA140
, 4J246EA30
, 4J246FA071
, 4J246FA121
, 4J246FA431
, 4J246FB031
, 4J246HA28
, 5F032AA34
, 5F032AA44
, 5F032DA09
, 5F032DA10
, 5F032DA53
, 5F032DA74
, 5F058AA06
, 5F058AC03
, 5F058AG01
, 5F058AH06
, 5F058BA09
, 5F058BC02
, 5F058BF46
, 5F058BH03
, 5F058BJ06
