特許
J-GLOBAL ID：201303044272939816

電子ビーム装置の調整方法とそのように調整された電子ビーム装置

発明者：
藤田 真

藤田 真 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 野口 繁雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-083776
公開番号（公開出願番号）：特開2013-214402
出願日： 2012年04月02日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】ビーム電流が非常に大きくなる条件においてもレンズ系の制御を容易にする。【解決手段】電子ビームを発生させる電子源と、電子ビームの照射方向に対して上流側から順に配置された第1レンズ、第2レンズ及び第3レンズからなり電子ビームの特性を制御するための3つのレンズと、第2レンズに配置されたビーム定義アパーチャとを備えた電子ビーム装置を対象とする。そして、最大ビーム電流時に得られる総合レンズ倍率が電子光学特性から規定される理想的なレンズ倍率にほぼ一致するように第2レンズの位置を調整する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
電子ビームを発生させる電子源と、電子ビームの照射方向に対して上流側から順に配置された第1レンズ、第2レンズ及び第3レンズからなり電子ビームの特性を制御するための3つのレンズと、前記第2レンズに配置されたビーム定義アパーチャとを備えた電子ビーム装置の調整方法において、 最大ビーム電流時に得られる総合レンズ倍率が電子光学特性から規定される理想的なレンズ倍率にほぼ一致するように第2レンズの位置を調整することを特徴とする調整方法。
IPC (4件)：
H01J 37/10 ,  H01J 37/28 ,  H01J 37/252 ,  H01J 35/14
FI (4件)：
H01J37/10 ,  H01J37/28 B ,  H01J37/252 A ,  H01J35/14
Fターム (2件)：
5C033PP01 ,  5C033UU02
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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