線路導体の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：久保幸雄 , 坂田泰弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-096874
公開番号（公開出願番号）：特開2013-169001
出願日： 2013年05月02日
公開日（公表日）： 2013年08月29日
要約：

【課題】線路導体におけるエネルギー伝播効率を向上させた線路導体の製造方法を提供すること。【解決手段】基板31上に第1のレジスト33を形成する工程と、第1のレジスト33に凹部を作成するとともに、凹部の基板に近い根元部分に、凹部の内方に延びるフット34を形成する工程と、凹部内に導電材料35を埋め込む工程と、を含む。さらに、導電材料に対して、物理エッチングまたは化学エッチングを行うことにより、導電材料におけるフットが形成されていない側の角部にアールを形成する工程を有する。【選択図】図14

請求項（抜粋）：

基板上に第1のレジストを形成する工程と、前記第1のレジストに凹部を作成するとともに、前記凹部の前記基板に近い根元部分に、前記凹部の内方に延びるフットを形成する工程と、前記凹部内に導電材料を埋め込む工程と、を含む線路導体の製造方法。

IPC (4件)：

H01P 3/08 , H01P 11/00 , H05K 3/28 , H05K 3/10

FI (4件)：

H01P3/08 , H01P11/00 G , H05K3/28 B , H05K3/10 E

Fターム (19件)：

5E314AA27 , 5E314BB07 , 5E314BB10 , 5E314BB11 , 5E314CC06 , 5E314CC15 , 5E314FF05 , 5E314GG26 , 5E343BB23 , 5E343BB71 , 5E343CC62 , 5E343CC63 , 5E343DD23 , 5E343DD43 , 5E343ER13 , 5E343ER16 , 5E343GG13 , 5J014CA02 , 5J014CA53

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-062920
高周波配線構造および高周波配線構造の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-038282 出願人：アルプス電気株式会社
特開平4-251915

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