特許
J-GLOBAL ID：201303045058040640
接着シート
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松下 亮
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-083641
特許番号：特許第5158907号
出願日： 2012年04月02日
要約：
【課題】接着剤層と粘着フィルムとの間にボイドが発生するのを効果的に抑制して、半導体ウエハに対する貼合不良を低減することができる接着シートを提供する。
【解決手段】長尺の離型フィルムと、離型フィルム上にラベル状に設けられた接着剤層と、接着剤層を覆い、かつ、接着剤層の周囲で離型フィルムに接触するように設けられたラベル部と、ラベル部の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、を有した、ロール状に巻かれた接着シートであって、粘着フィルムを貫く貫通孔が、接着剤層の被着体貼合予定部分に対応する部分より外側でラベル部の内側に設けられており、粘着フィルムのラベル部分1つに対して、接着剤層の外周長×1/43≦貫通孔の最大幅×個数≦接着剤層の外周長である。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
【請求項1】 長尺の離型フィルムと、
前記離型フィルム上にラベル状に設けられた接着剤層と、
前記接着剤層を覆い、かつ、前記接着剤層の周囲で前記離型フィルムに接触するように設けられたラベル部と、前記ラベル部の外縁の外側を囲むような周辺部とを有する粘着フィルムと、
を有した、ロール状に巻かれた接着シートであって、
前記粘着フィルムを貫く貫通孔が、半導体ウエハをダイシングする際に前記半導体ウエハが貼合される位置である前記接着剤層の被着体貼合予定部分に対応する部分より外側で前記ラベル部の外縁の内側に設けられており、
前記粘着フィルムのラベル部分1つに対して、前記接着剤層の外周長×1/43≦前記貫通孔の最大幅×個数≦前記接着剤層の外周長であることを特徴とする接着シート。
IPC (2件)：
H01L 21/301 ( 200 6.01)
, C09J 7/02 ( 200 6.01)
H01L 21/78 M
, C09J 7/02 Z
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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