特許

J-GLOBAL ID：201303045127616827

連続シート状材料の表面処理装置及び表面処理方法

発明者： 杉目 弘毅 ,  塩山 卓 ,  中野 守
出願人/特許権者： ヒラノ光音株式会社
代理人 (2件)： 蔦田 璋子 ,  蔦田 正人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204111
公開番号（公開出願番号）：特開2003-013224
特許番号：特許第4703043号
出願日： 2001年07月04日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】大気圧状態から真空状態に真空引き可能な内部空間を持つ本体と、 該本体内に設けられた巻出部及び巻取部と、 真空状態の本体内において巻出部から巻取部まで連続して走行するシート状材料に表面処理を施す処理部と、 前記巻出部にセットされたシート状材料の巻物体の両端面を当接保持し、かつ当接解除可能な保持手段と、 を備える連続シート状材料の表面処理装置。

IPC (3件)：

C23C 14/56 ( 200 6.01) ,  C23C 16/44 ( 200 6.01) ,  C23C 16/54 ( 200 6.01)

FI (4件)：

C23C 14/56 B ,  C23C 14/56 E ,  C23C 16/44 F ,  C23C 16/54