セラミック構造物作製装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小山有
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-169295
公開番号（公開出願番号）：特開2001-348659
特許番号：特許第4707209号
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年12月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミック微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを高速で基板に衝突させてセラミック構造物を作製するセラミック構造物作製装置において、エアロゾルを発生させ、駆動部を有するエアロゾル発生器と、エアロゾルを噴射するノズルと、セラミック構造物の堆積高さを調節する手段を備え、前記調節する手段が、エアロゾル中のセラミック微粒子の量をセンサにより感知し、前記センサから出力された信号を、前記エアロゾル発生器の駆動部へフィードバックし、エアの量を調節することによって前記セラミック構造物の堆積高さを制御することを特徴とするセラミック構造物作製装置。

IPC (2件)：