特許
J-GLOBAL ID：201303045485084870
レーザー加工装置、及び、レーザー加工方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
松本 昂
, 大上 寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-022833
公開番号（公開出願番号）：特開2013-158799
出願日： 2012年02月06日
公開日（公表日）： 2013年08月19日
要約：
【課題】液柱を構成した液体によってレーザービームが乱されることを防ぎ、均一なレーザー加工を施すことが可能なレーザー加工装置及びレーザー加工方法を提供する。【解決手段】被加工物を保持する保持面を有した保持手段と、保持手段で保持された被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段とを備えたレーザー加工装置であって、レーザービーム照射手段は、レーザー発振器と、加工ヘッドとから少なくともなり、加工ヘッドは、レーザー発振器から発振されたレーザービームを集光する集光レンズと、被加工物に液体を噴射して集光レンズで集光されたレーザービームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、を有し、保持手段で保持された被加工物の表面と液柱とが鈍角または鋭角をなすよう保持手段と加工ヘッドが配設されている、ことを特徴とするレーザー加工装置とする。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
被加工物を保持する保持面を有した保持手段と、該保持手段で保持された被加工物にレーザービームを照射するレーザービーム照射手段とを備えたレーザー加工装置であって、
該レーザービーム照射手段は、レーザー発振器と、加工ヘッドとから少なくともなり、
該加工ヘッドは、レーザー発振器から発振されたレーザービームを集光する集光レンズと、
被加工物に液体を噴射して該集光レンズで集光された該レーザービームが導光される液柱を形成する液体噴射手段と、を有し、
該保持手段で保持された被加工物の表面と該液柱とが鈍角または鋭角をなすよう該保持手段と該加工ヘッドが配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。
IPC (3件)：
B23K 26/08
, B23K 26/04
, B23K 26/14
B23K26/08 N
, B23K26/04 Z
, B23K26/14 Z
4E068AD00
, 4E068AE00
, 4E068CA03
, 4E068CA04
, 4E068CA08
, 4E068CE07
, 4E068CH03
, 4E068CH05
, 4E068CH08
, 4E068CJ07
, 4E068DA10
