AFM用マルチカンチレバーを搭載するタッピングモードAFMおよびその走査方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-004694
公開番号（公開出願番号）：特開2013-145120
出願日： 2012年01月13日
公開日（公表日）： 2013年07月25日
要約：

【課題】原子間力顕微鏡におけるタッピングモードでは測定試料とカンチレバーの接触時間が極めて短いものの試料表面に与える損傷を無視できない。衝突時の衝撃エネルギーを制御し試料の損傷を軽減することのできるカンチレバーおよび走査システムを提供する。【解決手段】一本のカンチレバー8Aに別の二本のカンチレバー8B、8Cを接続させて作った多体振動系であるマルチカンチレバーにおいて、カンチレバー8Bをタッピングさせながら試料表面を走査させ、カンチレバー8Cに加振を加えるようにAFM装置を作製する。カンチレバー8Cからカンチレバー8Bへ一定のエネルギーが流れるようになるため、加振によるエネルギーの入力量とタッピング時の衝突によるエネルギー減衰量が、このエネルギー移動量に等しくなるように制御した場合、定常な振動が発生することが期待され、これによりカンチレバー8Bの衝突速度を制御し衝撃エネルギーを軽減できる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

カンチレバーAと、該カンチレバーAにそれぞれ繋がるカンチレバーBと、カンチレバーCで構成されるAMF用マルチカンチレバーであって、前記カンチレバーBと、前記カンチレバーCの固有振動数が同一で、前記カンチレバーBと前記カンチレバーCの重心と、前記カンチレバーAがつくる二つの連成固有振動数の差と衝突周期の積が2πの整数倍であって前記カンチレバーCを加振して用い、前記カンチレバーBを試料表面に衝突させて用いることを特徴とするAFM用マルチカンチレバー。

IPC (3件)：

G01Q 60/38 , G01Q 60/34 , G01Q 70/10

FI (3件)：

G01Q60/38 101 , G01Q60/34 , G01Q70/10

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