特許
J-GLOBAL ID:201303046064525288
エアスライド装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大関 光弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-005202
公開番号(公開出願番号):特開2013-145009
出願日: 2012年01月13日
公開日(公表日): 2013年07月25日
要約:
【課題】スライドプレートの荷重変化に強く、かつ装置の小型・軽量化を可能とするエアスライド装置の構造を提供する。 【解決手段】エアスライド装置1は、磁性体のレール2と、レール2の長手方向Xにレール2と非接触で移動するスライダ3と、を備えている。スライダ3は、L字型のスライドプレート31と、スライドプレート31およびレール2の間に介在するようにスライドプレート31に取り付けられた第一、第二の磁力発生部6A、6Bおよびそれぞれ複数の第一、第二のエアベアリング4A、4Bと、を備えている。第一、第二のエアベアリング4A、4Bは、それぞれ第一、第二の磁力発生部6A、6Bの磁力発生面と同一面上もしくは磁力発生面よりレール2表面近くに位置する支持面40を備え、第一、第二の磁力発生部6A、6Bを挟むように配置される。【選択図】図1
請求項(抜粋):
相手部材に対して気体層を介して非接触で移動するスライダを備えたエアスライド装置であって、
前記相手部材は、前記気体層を介して前記スライダに対面する、磁性を帯びたスライダ案内面を備え、
前記スライダは、
前記スライダ案内面を前記スライダに相対的に引き寄せるための磁力を発生する磁力発生手段と、
前記スライダ案内面と前記気体層を介して非接触で対面する支持面を備え、前記磁力発生手段とは別体の静圧気体軸受と、を有し、
前記静圧気体軸受は、
前記スライダ案内面と前記支持面との間に前記気体層を形成するための圧縮気体を供給する圧縮気体供給手段を有する
ことを特徴とするエアスライド装置。
IPC (2件):
FI (3件):
F16C32/06 A
, F16C32/06 Z
, F16C29/02
Fターム (21件):
3J102AA02
, 3J102AA10
, 3J102BA05
, 3J102BA07
, 3J102CA03
, 3J102CA09
, 3J102CA10
, 3J102CA19
, 3J102CA32
, 3J102EA02
, 3J102EA06
, 3J102EA30
, 3J102GA20
, 3J104AA44
, 3J104AA52
, 3J104AA76
, 3J104BA51
, 3J104BA80
, 3J104CA32
, 3J104DA02
, 3J104DA12
引用特許:
出願人引用 (4件)
-
静圧空気軸受直線案内装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-297043
出願人:日本精工株式会社
-
超電導軸受装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-234508
出願人:光洋精工株式会社
-
ステージスライダ機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-270353
出願人:住友重機械工業株式会社