インジケータ、評価用シート及びプラズマ処理評価方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人中部国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-041619
公開番号（公開出願番号）：特開2013-178922
出願日： 2012年02月28日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：

【目的】窒素酸化物と水との反応によって得られる水素イオンと反応して変化する組成物を用いて、プラズマ処理の評価を行う。【解決手段】プラズマ照射装置10において、窒素ガスと酸素ガスとを含む処理ガスが供給されてプラズマ化されるとともに窒素酸化物が生成され、プラズマとともに照射され、窒素酸化物と大気中の水蒸気とが反応して水素イオンが生成される。一方、評価用シート12は、水素イオンと反応して色が変化するものである。したがって、作動状態にあるプラズマ照射装置10と評価用シート12とをスキャンさせ、スキャン後の評価用シート12の色に基づけば、プラズマ照射装置10によるプラズマ処理の評価を行うことができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

プラズマ処理を評価するためのインジケータであって、プラズマに起因して生成される窒素酸化物によって得られる水素イオンと反応することにより変化する組成物を含むことを特徴とするインジケータ。

IPC (3件)：

H05H 1/00 , H05H 1/24 , G01N 21/80

FI (3件)：

H05H1/00 A , H05H1/24 , G01N21/80

Fターム (6件)：

2G054AA01 , 2G054CA03 , 2G054CE02 , 2G054EA06 , 2G054GB04 , 2G054GE06

引用特許：

審査官引用 (5件)

pH変色指示性繊維およびその製法、並びにそれを用いたpH検知法、pH検知システム、pH検知器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-131449 出願人：中部キレスト株式会社, キレスト株式会社
プラズマ滅菌用インジケータ及び滅菌用包装材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-106347 出願人：藤森工業株式会社
滅菌インジケータ
公報種別：公表公報出願番号：特願2009-542159 出願人：ソシエテプールラコンセプシオンデアプリカシオンデテクニクエレクトロニク-サテレク

全件表示

前のページに戻る