特許

J-GLOBAL ID：201303046213640788

レーザ装置、露光装置及び検査装置

発明者： 尾下 善紀
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 岩崎 敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-017078
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156448
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】波長変換光学素子により波長変換されて出力される変換パルス光のパワーの立ち上がり特性を改善可能なレーザ装置を提供する。【解決手段】レーザ装置は、第1パルス光Lp1を出力する第1光源部I、第2パルス光Lp2を出力する第2光源部II、第3パルス光Lp3を出力する第3光源部III、第1,第2,第3パルス光が重複して入射する波長変換光学素子36、及び制御部8を備える。波長変換光学素子36は、第1パルス光Lp1と第2パルス光Lp2とが重複して入射されたときに第1変換パルス光Lv1を発生し、第1パルス光Lp1と第3パルス光Lp3とが重複して入射されたときに第2変換パルス光Lv2を発生する。制御部8は、波長変換光学素子36において、第1パルス光Lp1と第2パルス光Lp2とを重複させる第1状態と、第1パルス光Lp1と第3パルス光Lp3とを重複させる第2状態とのいずれかに切り換える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

第1波長のパルス光を出力する第1光源部、第2波長のパルス光を出力する第2光源部、及び第3波長のパルス光を出力する第3光源部と、 前記第1光源部から出力された前記第1波長のパルス光、前記第2光源部から出力された前記第2波長のパルス光、及び前記第3光源部から出力された前記第3波長のパルス光が重複して入射し得るように配置され、前記第1波長のパルス光と前記第2波長のパルス光とが重複して入射されたときに第1変換波長のパルス光を発生し、前記第1波長のパルス光と前記第3波長のパルス光とが重複して入射されたときに前記第1変換波長と異なる第2変換波長のパルス光を発生する波長変換光学素子と、 前記第1波長のパルス光、前記第2波長のパルス光、及び前記第3波長のパルス光の、前記波長変換光学素子における重ね合わせを制御する制御部とを備え、 前記制御部は、前記第1波長のパルス光と前記第2波長のパルス光とを前記波長変換光学素子において重複させて前記波長変換光学素子から前記第1変換波長のパルス光を出射させる第1状態と、前記第1波長のパルス光と前記第3波長のパルス光とを前記波長変換光学素子において重複させて前記波長変換光学素子から前記第2変換波長のパルス光を出射させる第2状態とのいずれかに切り換えることを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  H01L 21/027 ,  G03F 7/20

FI (3件)：

G02F1/37 ,  H01L21/30 527 ,  G03F7/20 505

Fターム (14件)：

2H097BB01 ,  2H097CA17 ,  2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002BA02 ,  2K002CA02 ,  2K002DA01 ,  2K002EA10 ,  2K002EB13 ,  2K002GA10 ,  2K002HA20 ,  5F146CA03 ,  5F146DB01