特許

J-GLOBAL ID：201303046253757920

誘電体膜及びその製造方法、並びにキャパシタ

発明者： 廣田 俊幸
出願人/特許権者： エルピーダメモリ株式会社
代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  高橋 詔男 ,  大房 直樹 ,  大浪 一徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-144157
公開番号（公開出願番号）：特開2013-012579
出願日： 2011年06月29日
公開日（公表日）： 2013年01月17日
要約：

【課題】結晶粒のサイズを制御し、誘電体膜を貫通する結晶粒界やクラックの発生を抑制することによって、リーク電流の少ない高性能のキャパシタを提供する。【解決手段】電極3,5の間に誘電体膜4が挟持されてなるキャパシタであって、誘電体膜4は、アルカリ土類金属と遷移金属との酸化物に、アルカリ土類金属の炭酸塩を0.1〜10mol%の範囲で含む。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

アルカリ土類金属と遷移金属との酸化物に、アルカリ土類金属の炭酸塩を0.1〜10mol%の範囲で含むことを特徴とする誘電体膜。

IPC (8件)：

H01L 21/316 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/04 ,  H01G 4/33 ,  H01G 4/12

FI (7件)：

H01L21/316 Y ,  H01L27/10 651 ,  H01L27/10 444C ,  H01L27/04 C ,  H01G4/06 102 ,  H01G4/12 397 ,  H01G4/12 400

Fターム (46件)：

4K030AA11 ,  4K030AA14 ,  4K030BA01 ,  4K030BA18 ,  4K030BA42 ,  4K030CA04 ,  4K030DA09 ,  4K030FA10 ,  4K030HA01 ,  4K030LA15 ,  5E001AB06 ,  5E001AE01 ,  5E001AE03 ,  5E001AH03 ,  5E001AJ02 ,  5E082FG03 ,  5E082FG26 ,  5E082FG42 ,  5F038AC05 ,  5F038AC15 ,  5F038AC18 ,  5F038CD14 ,  5F038EZ11 ,  5F038EZ20 ,  5F058BA01 ,  5F058BA04 ,  5F058BA11 ,  5F058BC03 ,  5F058BC04 ,  5F058BD05 ,  5F058BD06 ,  5F058BF02 ,  5F058BF12 ,  5F058BH04 ,  5F083AD11 ,  5F083AD21 ,  5F083FR01 ,  5F083GA06 ,  5F083GA27 ,  5F083JA13 ,  5F083JA14 ,  5F083JA38 ,  5F083JA60 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33