特許

J-GLOBAL ID：201303046319924017

光学モニタ用基準スペクトルの自動生成

発明者： デーヴィッド, ジェフリー, ドゥルー ,  リー, ハリー, キュー. ,  チエン, チュン ,  チャン, チーミン
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (2件)： 園田 吉隆 ,  小林 義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-508010
公開番号（公開出願番号）：特表2013-526058
出願日： 2011年04月15日
公開日（公表日）： 2013年06月20日
要約：

基準スペクトルを生成するコンピュータ実装方法は、回転可能なプラテンを有する研磨装置の中で第1の基板を研磨するステップと、研磨中に、インシトゥモニタシステムを用いて、基板からの一連のスペクトルを測定するステップと、一連のスペクトルにおける各スペクトルを、各スペクトルが測定されたプラテン回転数に等しい指標値と関連付けるステップと、一連のスペクトルを基準スペクトルとして記憶するステップとを含む。

請求項（抜粋）：

回転可能なプラテンを有する研磨装置の中で第1の基板を研磨するステップと、 研磨中に、インシトゥモニタシステムを用いて、前記基板からの一連のスペクトルを測定するステップと、 前記一連のスペクトルにおける各スペクトルを、前記各スペクトルが測定されたプラテン回転数に等しい指標値と関連付けるステップと、 前記一連のスペクトルを基準スペクトルとして記憶するステップとを含む、基準スペクトルを生成するコンピュータ実装方法。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/013 ,  B24B 37/04

FI (4件)：

H01L21/304 622Z ,  H01L21/304 622S ,  B24B37/04 K ,  B24B37/04 Z

Fターム (15件)：

3C058AA07 ,  3C058BA01 ,  3C058BA09 ,  3C058BB02 ,  3C058CA05 ,  3C058CB03 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057AA20 ,  5F057BA15 ,  5F057CA11 ,  5F057DA03 ,  5F057GA12 ,  5F057GB02 ,  5F057GB20