特許
J-GLOBAL ID：201303046418913876
ダイボンダ及びダイボンディング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-077637
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207246
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】ダイボンダのはんだ供給装置を大気中で線はんだの表面に形成された酸化膜がはんだポットやノズルなどに蓄積されない手段を提供する。【解決手段】外気と遮断された雰囲気中において基板17上の所定の位置に所定の量のはんだを供給し、外気と遮断された雰囲気中においてはんだが供給された基板をこの基板上に電子部品を搭載するための位置に基板を搬送し、外気と遮断された雰囲気中において搬送された基板上の所定の量のはんだが供給された位置に電子部品を搭載してこの搭載した電子部品を基板と接続するダイボンダ100において、基板上の所定の位置に所定の量のはんだを供給する手段11に、線状のはんだの表面の酸化膜を酸化膜除去手段で除去し、この表面の酸化膜を除去した線状のはんだを溶融してポット12の内部に収容し、ポットの先端のノズル15から溶融したはんだを一定量ずつ試料17の表面の所定の位置に供給するようにした。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料上の所定の位置に所定の量のはんだを供給するはんだ供給ユニットと、
該はんだ供給ユニットにより前記試料上の所定の位置に所定の量供給されたはんだ上に電子部品を搭載する電子部品搭載ユニットと、
前記試料を前記はんだ供給ユニットと前記電子部品搭載ユニットとの間を搬送する基板搬送ユニットと、
該基板搬送ユニットにより前記はんだ供給ユニットと前記電子部品搭載ユニットとの間を搬送される前記試料を外気と遮断された雰囲気中に維持する外気遮蔽ユニットと
を備えたダイボンダであって、前記はんだ供給ユニットは、
はんだを所定の量供給するはんだ送り出し部と、
該線はんだ送り出し部から送り出されたはんだの表面の酸化膜を除去する酸化膜除去手段を備えて該酸化膜除去手段で表面の酸化膜を除去したはんだを溶融させて収容するはんだ供給部と、
前記はんだ供給部から溶融させたはんだの供給を受けて該はんだを溶融させた状態で収容するポットと該ポットの先端部にはんだを吐出するノズルと該ノズルから一定量の溶融したはんだを吐出させるためのはんだ吐出量を制御する吐出量制御手段とを有するはんだ吐出部と
を備えることを特徴とするダイボンダ。
IPC (3件)：
H01L 21/52
, B23K 3/06
, B23K 1/20
H01L21/52 G
, B23K3/06 T
, B23K1/20 J
5F047FA21
, 5F047FA30
, 5F047FA31
