特許
J-GLOBAL ID：201303046539007228

加速度センサ

発明者：
伊藤 恭彦

伊藤 恭彦 について

, 
平田 善明

平田 善明 について


出願人/特許権者：
三菱電機株式会社

三菱電機株式会社 について


代理人 (4件)： 高橋 省吾 ,  稲葉 忠彦 ,  村上 加奈子 ,  中鶴 一隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-012206
公開番号（公開出願番号）：特開2013-152111
出願日： 2012年01月24日
公開日（公表日）： 2013年08月08日
要約：
【課題】 低加速度域において高い検出分解能を有するとともに、検出範囲が広い加速度センサを得る。【解決手段】 間隔d11(第1の間隔)を隔てて検出フレーム7と対向するように設けられ、電圧が印加されることによって検出フレーム7を駆動する一対の第1駆動電極11a,11bと、間隔d12(第2の間隔)を隔てて検出フレーム7と対向するように設けられ、電圧が印加されることによって検出フレーム7を駆動する一対の第2駆動電極12a,12bと、検出フレーム7の変位を検出する容量-電圧変換回路20(検出手段)と、容量-電圧変換回路20の出力に応じて、第1駆動電極11a,11bまたは第2駆動電極12a,12bに電圧を印加し、検出フレーム7を所定位置に駆動するように制御するサーボ制御回路30(制御手段)とを備え、検出フレーム7を所定位置に駆動するように印加した電圧に基づいて、印加された加速度を検出するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板と、 前記基板上に固定されたアンカーと、 前記アンカーに支持され、加速度が印加されることによって変位する慣性質量体と、 前記慣性質量体の変位に応じて変位可能な可動電極と、 第1の間隔を隔てて前記可動電極と対向するように設けられ、電圧が印加されることによって前記可動電極との間に発生する静電力により前記可動電極を駆動する一対の第1駆動電極と、 前記第1の間隔とは異なる第2の間隔を隔てて前記可動電極と対向するように設けられ、電圧が印加されることによって前記可動電極との間に発生する静電力により前記可動電極を駆動する一対の第2駆動電極と、 加速度が印加されることによって生じる前記可動電極の変位を検出する検出手段と、 前記検出手段が検出した前記可動電極の変位に応じて、前記第1駆動電極または前記第2駆動電極に電圧を印加し、前記可動電極を所定位置に駆動するように制御する制御手段とを備え、 前記可動電極を所定位置に駆動するように印加した電圧に基づいて、印加された加速度を検出する加速度センサ。
IPC (4件)：
G01P 15/13 ,  H01L 29/84 ,  B81B 3/00 ,  G01P 15/125
FI (4件)：
G01P15/13 B ,  H01L29/84 Z ,  B81B3/00 ,  G01P15/125 Z
Fターム (28件)：
3C081AA13 ,  3C081BA33 ,  3C081BA44 ,  3C081BA47 ,  3C081BA53 ,  3C081BA76 ,  3C081CA13 ,  3C081CA29 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA24 ,  4M112CA31 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA06 ,  4M112DA15 ,  4M112EA03 ,  4M112EA04 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA13 ,  4M112FA01 ,  4M112GA01 ,  4M112GA03
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 国際公開第03/044539号(7-8頁、図8-10)
審査官引用 (5件)
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