特許
J-GLOBAL ID：201303046544285589
トリミング抵抗体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-086573
公開番号（公開出願番号）：特開2013-219111
出願日： 2012年04月05日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】製造時間を短縮することができるトリミング抵抗体およびその製造方法を提供する。【解決手段】まず、所定方向に延びる矩形状の主電流部10aを有する電流経路部10と、主電流部10aの延設方向と垂直方向に当該主電流部10aから突出し、矩形状から主電流部10a側と反対側に位置する角部20aが面取りされた形状の突出部20と、を有する形状の薄膜抵抗体1を形成する。そして、突出部20における面取りされて残る端辺21から薄膜抵抗体1をトリミングする。これによれば、矩形状のうち主電流部10aから電流が最も流れ込みにくい角部20aを除去した突出部20を有する薄膜抵抗体1を形成し、面取りされて残る端辺21からトリミングしている。このため、トリミングを始めた初期の抵抗値の変化の割合を大きくすることができ、抵抗値を目標値まで早く高くすることができる。したがって、製造時間を短縮することができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
基板上に薄膜抵抗体(1)を形成する工程と、
前記薄膜抵抗体をトリミングして溝部(31、32)を形成することにより、当該薄膜抵抗体の抵抗値を所定の値にするトリミング工程と、を含み、
前記薄膜抵抗体を形成する工程では、所定方向に延びる矩形状の主電流部(10a)を有する電流経路部(10)と、前記主電流部の延設方向と垂直方向であって基板平面方向と平行な方向に当該主電流部から突出し、矩形状から前記主電流部側と反対側に位置する角部(20a)が面取りされた形状の突出部(20)と、を有する形状の前記薄膜抵抗体を形成し、
前記トリミング工程では、前記突出部における面取りされて残る端辺(21)から前記薄膜抵抗体をトリミングして前記溝部を形成することを特徴とするトリミング抵抗体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (16件)：
5E032BA03
, 5E032BB01
, 5E032CA02
, 5E032CA12
, 5E032TA03
, 5E032TA13
, 5E032TA15
, 5E032TB02
, 5E032TC01
, 5E033BA01
, 5E033BB02
, 5E033BC01
, 5E033BD03
, 5E033BF05
, 5E033BG02
, 5E033BH01
