特許
J-GLOBAL ID：201303046704384317

金属充填装置

発明者：
山口 征隆

山口 征隆 について

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滝川 敏二

滝川 敏二 について

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速水 利泰

速水 利泰 について

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今井 修

今井 修 について


出願人/特許権者：
住友精密工業株式会社

住友精密工業株式会社 について


代理人 (1件)： 村上 智司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-115832
公開番号（公開出願番号）：特開2013-179350
出願日： 2013年05月31日
公開日（公表日）： 2013年09月09日
要約：
【課題】処理後の被処理物上の余剰金属層を薄くすることができ、微小空間内に隙間なく溶融金属を充填することのできる金属充填装置を提供する。【解決手段】被処理物Kを保持する保持部Hと、保持部Hと対向して設けられる筒状部材Cと、筒状部材Cに進退自在に嵌入された押付部材P,6と、筒状部材C及び保持部Hと押付部材P,6とを相対的に移動させる押付機構5と、保持部Hと筒状部材Cとを接近、離反する方向に相対移動させる移動機構16とを備え、被処理物K又は保持部Hと、筒状部材C及び押付部材P,6とによって気密状の処理室2が形成される。更に、処理室2を減圧する減圧機構3と、処理室2内に溶融金属Mを供給する溶融金属供給機構4と、処理室2内の溶融金属Mを加圧する加圧機構7とを備え、押付部材P,6には、処理室2内に供給された溶融金属Mを押付部材6と被処理物K表面との間に閉じ込める溶融金属封止部が備えられている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
被処理物表面の、該表面に開口するように形成された微小空間内に、該被処理物上に供給した溶融金属を充填する金属充填装置であって、 前記被処理物を保持する保持部と、 内部空間を有し、一端が前記保持部と対向して設けられる筒状部材と、 前記筒状部材の内部空間内に進退自在に嵌入された押付部材と、 前記筒状部材及び前記保持部と前記押付部材とを、前記保持部に保持された被処理物と前記押付部材とが相互に接近,離反する方向に、相対的に移動させる押付機構とを備え、 前記被処理物又は前記保持部と、前記筒状部材及び前記押付部材とによって気密状の処理室が形成され、 更に、前記処理室内を減圧する減圧機構と、 前記処理室内に溶融金属を供給する溶融金属供給機構と、 前記処理室内に供給された溶融金属を加圧する加圧機構とを備えるとともに、 前記溶融金属供給機構によって供給された溶融金属を前記押付部材と前記被処理物表面との間に閉じ込める溶融金属封止部が、前記押付部材に備えられていることを特徴とする金属充填装置。
IPC (5件)：
H01L 21/288 ,  H05K 3/34 ,  H01L 23/522 ,  H01L 21/768 ,  H01L 21/320
FI (3件)：
H01L21/288 Z ,  H05K3/34 505A ,  H01L21/88 J
Fターム (28件)：
4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB06 ,  4M104BB07 ,  4M104BB08 ,  4M104BB09 ,  4M104BB36 ,  4M104DD51 ,  4M104HH13 ,  5E319AA03 ,  5E319AC04 ,  5E319BB01 ,  5E319BB08 ,  5E319BB09 ,  5E319BB10 ,  5E319CC23 ,  5E319CD26 ,  5E319GG01 ,  5E319GG15 ,  5F033JJ07 ,  5F033JJ08 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ13 ,  5F033JJ14 ,  5F033MM30 ,  5F033PP26 ,  5F033XX02
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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