特許

J-GLOBAL ID：201303046935385090

表面研磨板

発明者： 山下 哲二
出願人/特許権者： メゾテクダイヤ株式会社
代理人 (1件)： 加藤 雄二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-116236
公開番号（公開出願番号）：特開2013-240867
出願日： 2012年05月22日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：

【課題】鋭利な外形のダイヤモンド砥粒等で高速研磨をするとともに、所定のタイミングで化学研磨作用のある砥粒が自動的に供給されて鏡面処理がされる。【解決手段】ダイヤモンド砥粒18等を全体に分散させて埋め込んで固化され、一方の面20から他方の面22に通じる多数の連続気泡24を有する多孔質板16に、室温で連続気泡24中を重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体26であって、被研磨材30の作用面32を機械的及び化学的に研磨する作用のある砥粒28を混入したものを、連続気泡24中に含浸させる。液体26は、被研磨材30を研磨するときに発生する熱もしくは外部から供給される熱により軟化して流動性が高まり、化学研磨剤28とともに、作用のある砥粒30の作用面32に流れ出る。化学研磨作用のある砥粒28の粒径は、ダイヤモンド砥粒18の粒径以上のものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

硬くて機械的に鋭い外面を持つ第1の砥粒を全体に分散させて埋め込んで固化され、一方の面から他方の面に通じる多数の連続気泡を有する多孔質板に、 室温で前記多孔質板の前記一方の面から他方の面に向かって重力で自然流下しない程度の粘性を持つ液体であって、被研磨材の作用面を機械的及び化学的に研磨する第2の砥粒を混入したものを、前記連続気泡中に含浸させており、 前記液体は、前記被研磨材を研磨するときに発生する熱もしくは外部から供給される熱により軟化して流動性が高まり、前記第2の砥粒とともに、前記被研磨材の作用面に流れ出る液体であって、 前記第2の砥粒の粒径は、前記第1の砥粒の粒径以上のものであることを特徴とする表面研磨板。

IPC (3件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/015 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B37/00 K ,  B24B37/00 J ,  H01L21/304 622F

Fターム (17件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AC04 ,  3C058DA17 ,  5F057AA11 ,  5F057AA24 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA06 ,  5F057EA18 ,  5F057EA29 ,  5F057EB07 ,  5F057EB09 ,  5F057FA42 ,  5F057GA07