特許

J-GLOBAL ID：201303047051264015

気相反応物を反応室内へ供給するための方法および装置

発明者： ジャンヌ ケセレ
出願人/特許権者： エイエスエム インターナショナル エヌ.ヴェー.
代理人 (12件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  藤野 育男 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  高梨 憲通 ,  朝日 伸光 ,  高橋 誠一郎 ,  吉澤 弘司 ,  松井 孝夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-145256
公開番号（公開出願番号）：特開2001-323374
特許番号：特許第5241982号
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 周囲温度で液体または固体である反応物を、気化温度で反応物源から気化させ、 気化した反応物を反応室に供給し、 反応物源および反応室を、個々に排気できる別々の容器に配置した、反応物源から気相反応室に気相反応物を供給する方法であって、 開口を有する第1容器からなる反応物源内に保持された液体または固体の反応物質から反応物を気化させることを含み、前記第1容器を圧力外殻内に配置し、圧力外殻内に取り付けた加熱手段によって気化温度まで加熱すること、さらに、 気化した反応物を前記第1容器から第1清浄器に送り、気化反応物に含まれた不純物を除去すること、 第1清浄器を通過した気化反応物をガススペース内に収集すること、および気相反応物をガススペースから第1導管を介して気相反応室へ供給することからなることを特徴とする方法。

IPC (2件)：

C23C 16/448 ( 200 6.01) ,  H01L 21/205 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C23C 16/448 ,  H01L 21/205

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-227834
  
• 2つのフリットを有するバブラー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-249813   出願人：モートンインターナショナルインコーポレイテッド