特許

J-GLOBAL ID：201303047134060926

周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法

発明者： 伊藤 純貴 ,  泉沢 悟
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (6件)： 川口 嘉之 ,  高田 大輔 ,  佐貫 伸一 ,  丹羽 武司 ,  香坂 薫 ,  下田 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-058488
公開番号（公開出願番号）：特開2013-189357
出願日： 2012年03月15日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：

【課題】液相成長法を利用した周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法において、工程運用や処理を円滑かつ柔軟に遂行できる技術を確立し、周期表第13族金属窒化物結晶をより効率的かつ安定的に製造することができる方法を提供することを課題とする。【解決手段】液相中の溶存化学種の元素種濃度及び/又は溶存化学種濃度をin-situで経時的に測定し、その結果に基づいて結晶成長の開始時機や設定変更の時機を決定することにより、周期表第13族金属窒化物結晶をより効率的かつ安定的に製造することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

原料及び溶媒を含む溶液又は融液中で周期表第13族金属窒化物結晶をエピタキシャル成長させる成長工程を含む周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法であって、 前記溶液又は融液中の元素種濃度及び/又は溶存化学種濃度をin-situで経時的に測定し、その測定結果に基づいて前記成長工程の開始時機及び/又は前記成長工程における設定変更時機を決定することを特徴とする、周期表第13族金属窒化物結晶の製造方法。

IPC (2件)：

C30B 29/38 ,  C30B 19/10

FI (2件)：

C30B29/38 D ,  C30B19/10

Fターム (14件)：

4G077AA03 ,  4G077BE15 ,  4G077CG02 ,  4G077CG06 ,  4G077EC01 ,  4G077EC07 ,  4G077EC08 ,  4G077EH06 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077QA04 ,  4G077QA12 ,  4G077QA26 ,  4G077QA81