特許

J-GLOBAL ID：201303047268129833

研磨用組成物

発明者： 吉崎 幸信 ,  井澤 由裕
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (2件)： 恩田 博宣 ,  恩田 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-019450
公開番号（公開出願番号）：特開2013-157580
出願日： 2012年02月01日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：

【課題】相変化合金を有する研磨対象物を研磨する用途で好適に用いることができる研磨用組成物を提供する。特に、高い研磨速度を得ることができる研磨用組成物を提供する。【解決手段】本発明の研磨用組成物は、相変化合金を有する研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物であって、砥粒及びリン含有化合物から選ばれる少なくとも1以上である添加剤を含有し、研磨用組成物のpHが7.0以上であることを特徴とする研磨用組成物である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

相変化合金を有する研磨対象物を研磨する用途で使用される研磨用組成物であって、 砥粒及び添加剤を含み、 前記添加剤がリン含有化合物から選ばれる少なくとも1以上であり、 前記研磨用組成物のpHが7.0以上であることを特徴とする研磨用組成物。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  B24B 37/00

FI (2件)：

H01L21/304 622D ,  B24B37/00 H

Fターム (16件)：

3C058AA07 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  5F057AA14 ,  5F057AA28 ,  5F057BA15 ,  5F057BB14 ,  5F057BC02 ,  5F057DA03 ,  5F057EA01 ,  5F057EA07 ,  5F057EA16 ,  5F057EA23 ,  5F057EA31