特許
J-GLOBAL ID：201303047547991103
クライオポンプ及びその再生方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
森下 賢樹
, 村田 雄祐
, 三木 友由
, 富所 輝観夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-045268
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181448
出願日： 2012年03月01日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】クライオポンプの再生に関して安全性を向上する。【解決手段】クライオポンプの再生方法は、クライオポンプのための圧力センサを停止させることと、気体分子を吸着するための極低温面の昇温を開始することと、圧力センサを停止させた状態で、クライオポンプの粗引きを開始することと、圧力センサを停止させた状態で、粗引きを終了することと、を含む。この方法は、粗引きの終了後に圧力センサを起動することを含んでもよい。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
気体分子を吸着するための吸着領域を備えるクライオパネルと、
前記クライオパネルを囲むクライオポンプ容器と、
前記クライオポンプ容器を粗引きポンプに接続するためのラフバルブと、
前記クライオポンプ容器の内圧を測定するための圧力センサと、
前記圧力センサの停止期間と、前記クライオパネルの再生と、を制御するための制御部と、を備え、
前記制御部は、前記再生の初期段階に前記停止期間を設定し、かつその停止期間に少なくとも一度前記クライオポンプ容器の粗引きをするために前記ラフバルブを開くことを特徴とするクライオポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04B37/08
, F04B37/16 D
, F04B37/16 A
3H076AA25
, 3H076AA38
, 3H076BB24
, 3H076BB28
, 3H076BB34
, 3H076BB36
, 3H076CC42
, 3H076CC54
, 3H076CC87
, 3H076CC95
, 3H076CC98
