特許

J-GLOBAL ID：201303047894428206

欠陥検査装置および欠陥検査方法

発明者： 尾崎 麻耶
出願人/特許権者： 住友化学株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-290055
公開番号（公開出願番号）：特開2013-140050
出願日： 2011年12月28日
公開日（公表日）： 2013年07月18日
要約：

【課題】 高精度にシート状成形体の欠陥を検出することができる欠陥検査装置および欠陥検査方法を提供する。【解決手段】 欠陥検査装置100の照明装置2は、搬送装置1で搬送される成形シート7の表面に、搬送方向Aに直交する方向に延びる明部と暗部とが交互に繰返される明暗パターンが投影されるように、成形シート7を照明する。撮像部3は、照明装置2で照明された成形シート7の2次元画像を複数回撮像して複数の2次元画像データを生成する。解析装置4は、撮像部3で生成された2次元画像データに基づいて欠陥を検出する。そして、前記明暗パターンにおける明部と暗部とが繰返される間隔が、撮像部3の搬送方向Aの視野幅以下に設定される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シート状成形体の欠陥を検出する欠陥検査装置であって、 シート状成形体を所定の搬送方向に連続して搬送する搬送手段と、 前記搬送手段で搬送されるシート状成形体の2次元画像を複数回撮像して複数の2次元画像データを生成する撮像手段と、 前記搬送手段で搬送されるシート状成形体の表面に、明部と暗部とが交互に繰返される明暗パターンが投影されるように、シート状成形体を照明する照明手段であって、シート状成形体の前記搬送方向に直交する幅方向の全体において、前記2次元画像内に、前記明暗パターンの明部の周縁が1箇所以上存在するように、シート状成形体を照明する照明手段と、 前記撮像手段で生成された2次元画像データに基づいて欠陥を検出する欠陥検出手段と、を含み、 前記照明手段と前記撮像手段とは、前記明暗パターンにおける明部と暗部とが繰返される間隔が、シート状成形体の表面における前記撮像手段による撮像領域の前記搬送方向の視野幅以下となるように設けられることを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 A

Fターム (10件)：

2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA15 ,  2G051EA16 ,  2G051FA01