ケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物、及びパターン形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-178317
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041140
出願日： 2011年08月17日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】ネガ現像において得られる親水性有機化合物で形成されるレジストパターンに適用できるだけでなく、従来のポジ現像で得られる疎水性化合物からなるレジストパターンにも適用できるレジスト下層膜形成用組成物、及びそれを用いたパターン形成方法を提供する。【解決手段】(A)成分:下記繰り返し単位を有するフェノール性水酸基発生可能な重合体、該重合体の加水分解物、及び前記重合体の加水分解縮合物のうち少なくとも一つ以上、及び(B)成分:特定の加水分解性ケイ素化合物を含有する混合物を加水分解縮合することにより得られるケイ素含有化合物を含むものであることを特徴とするケイ素含有レジスト下層膜形成用組成物。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)成分:下記一般式(1-1a)および(1-1b)で表される繰り返し単位を有するフェノール性水酸基発生可能な重合体、該重合体の加水分解物、及び前記重合体の加水分解縮合物のうち少なくとも一つ以上、及び

IPC (9件)：

G03F 7/11 , G03F 7/26 , G03F 7/039 , G03F 7/32 , H01L 21/027 , C08F 230/08 , C08F 212/14 , C08G 77/442 , C08G 77/04

FI (9件)：

G03F7/11 503 , G03F7/26 511 , G03F7/039 601 , G03F7/32 , H01L21/30 573 , C08F230/08 , C08F212/14 , C08G77/442 , C08G77/04

Fターム (94件)：

2H096AA25 , 2H096BA06 , 2H096BA11 , 2H096EA05 , 2H096GA03 , 2H096GA09 , 2H096JA08 , 2H096KA05 , 2H096KA06 , 2H096KA19 , 2H125AF17N , 2H125AF17P , 2H125AF26N , 2H125AF30N , 2H125AF36N , 2H125AF38P , 2H125AF41N , 2H125AH05 , 2H125AH11 , 2H125AH16 , 2H125AH17 , 2H125AH24 , 2H125AH29 , 2H125AJ14X , 2H125AJ18X , 2H125AJ63X , 2H125AJ65X , 2H125AJ68X , 2H125AJ69X , 2H125AM10N , 2H125AM12N , 2H125AM13N , 2H125AM22N , 2H125AM23N , 2H125AM85N , 2H125AM91N , 2H125AM94N , 2H125AM99N , 2H125AN02N , 2H125AN11N , 2H125AN31N , 2H125AN37N , 2H125AN39P , 2H125AN51P , 2H125AN88P , 2H125AP01N , 2H125AP03N , 2H125BA01N , 2H125BA21N , 2H125BA26P , 2H125CA12 , 2H125CB09 , 2H125CC01 , 2H125CC03 , 2H125CC15 , 2H125FA05 , 2H125FA23 , 4J100AB07P , 4J100AB07Q , 4J100AL08P , 4J100AQ01Q , 4J100BA03Q , 4J100BA04Q , 4J100BA05Q , 4J100BA77P , 4J100JA38 , 4J246AA03 , 4J246AA18 , 4J246AB15 , 4J246BA16X , 4J246BA160 , 4J246BA17X , 4J246BA170 , 4J246BB02X , 4J246BB020 , 4J246CA14X , 4J246CA148 , 4J246CA24X , 4J246CA248 , 4J246CA40X , 4J246CA408 , 4J246EA03 , 4J246EA05 , 4J246FA071 , 4J246FA131 , 4J246FA321 , 4J246FA471 , 4J246FB081 , 4J246FB271 , 4J246GB33 , 4J246GD10 , 4J246HA15 , 5F146NA02 , 5F146NA17

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