特許

J-GLOBAL ID：201303047954809948

液滴塗布装置

発明者： 水沢 周一
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-084690
公開番号（公開出願番号）：特開2013-212472
出願日： 2012年04月03日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】シールリング周辺に溜まったレジスト液又は洗浄液等の液体が、基板に付着しないようにした液滴塗布装置を提供する。【課題を解決するための手段】 液滴塗布装置(100)は、第1面(21)及び回転軸を有している回転テーブル(20)と、基板の裏面に接するシールリング(30)と、を備える。さらに、液滴塗布装置は、基板の裏面、シールリング及び回転テーブルの第1面によって形成される空間(SP1)から空気を排気する排気管(50)と、基板の表面に液体を塗布するディスペンサー(60)と、を備える。回転テーブル(20)は、回転テーブルの第1面よりも下側に凹み、回転軸側の側面(25)及び第2面(26)を有する段差部(28)を有する。シールリング(30)は、側面(25)と第2面(26)とに接するように配置される。そして、段差部の第2面(26)の回転軸側の反対側には第2面よりも上側に凸部がない。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

平坦な基板を支持する第1面及び回転軸を有している回転テーブルと、 前記回転テーブルの第1面の外周囲に配置され、前記基板の裏面に接するシールリングと、 前記回転テーブルに設けられ、前記基板の裏面、前記シールリング及び前記回転テーブルの前記第1面によって形成される空間から空気を排気する排気管と、 前記基板の表面に液体を塗布するディスペンサーと、を備え、 前記回転テーブルは、前記回転テーブルの第1面よりも下側に凹み、前記回転軸側の側面及び第2面を有する段差部を有し、前記シールリングは前記側面と前記第2面とに接するように配置され、前記段差部の第2面の前記回転軸側の反対側には前記第2面よりも上側に凸部がない液滴塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 11/08 ,  B05C 5/00 ,  B05C 9/10

FI (3件)：

B05C11/08 ,  B05C5/00 101 ,  B05C9/10

Fターム (10件)：

4F041AA06 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042DA01 ,  4F042EB13 ,  4F042EB17 ,  4F042EB24 ,  4F042EB28