光導波路の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：大谷保 , 平澤賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-003592
公開番号（公開出願番号）：特開2013-142828
出願日： 2012年01月11日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：

【課題】基板の平坦性を確保できると共に、基板の種類によらず光信号の伝達が可能で、低損失で信号伝搬可能なミラー付き光導波路の製造方法を提供すること。【解決手段】(A)少なくとも1つの開口部を有する基板上の片方の面に離型層を設け、他方の面に透明樹脂からなる透明樹脂層を形成するとともに、該開口部を透明樹脂で充填する工程、(B)該開口部を透明樹脂で充填した後に該離型層を除去する工程、(C)該基板上にコア層及びクラッド層からなる光導波路を形成する工程、(D)該開口部の直上部のコア層にミラー部を形成する工程、を有する光導波路の製造方法である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

(A)少なくとも1つの開口部を有する基板上の片方の面に離型層を設け、他方の面に透明樹脂からなる透明樹脂層を形成するとともに、該開口部を透明樹脂で充填する工程、(B)該開口部を透明樹脂で充填した後に該離型層を除去する工程、(C)該基板上にコア層及びクラッド層からなる光導波路を形成する工程、(D)該開口部の直上部のコア層にミラー部を形成する工程、を有する光導波路の製造方法。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G02B 6/122

FI (3件)：

G02B6/12 M , G02B6/12 A , G02B6/12 B

Fターム (24件)：

2H147CB07 , 2H147DA08 , 2H147EA10D , 2H147EA13C , 2H147EA14C , 2H147EA16A , 2H147EA16B , 2H147EA16C , 2H147EA19A , 2H147EA19B , 2H147FA06 , 2H147FA25 , 2H147FB01 , 2H147FB02 , 2H147FB04 , 2H147FC01 , 2H147FC08 , 2H147FC09 , 2H147FD14 , 2H147FD15 , 2H147FE02 , 2H147FE03 , 2H147FF05 , 2H147GA19

引用特許：

審査官引用 (1件)

光電気混載モジュールおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-138492 出願人：日東電工株式会社

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