特許

J-GLOBAL ID：201303048290736839

液処理装置及び液処理方法

発明者： 吉田 勇一 ,  ▲高▼▲柳▼ 康治
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-196685
公開番号（公開出願番号）：特開2013-058655
出願日： 2011年09月09日
公開日（公表日）： 2013年03月28日
要約：

【課題】処理液中の異物を除去する清浄性能と、処理液中に混入している気泡を除去する脱気性能を同時に向上させることができる液処理装置及び液処理方法を提供すること。【解決手段】レジスト容器13に第1管路26を介して接続する一時貯留容器40と、一時貯留容器に第2管路27を介して接続される供給ノズルと、一時貯留容器内を負圧にして、処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構32と、一時貯留容器内に形成され、第1管路を介して供給される処理液を貯留する流入槽41と、流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、第2管路27が接続する流出槽43と、流出槽と第1管路を接続する第3管路28と、第1管路と第3管路の接続部に介設される切換弁31と、流出槽から第3管路及び第1管路を介して流入槽への処理液の供給を行う供給・循環用ポンプP2と、第3管路に介設され、異物・気泡を除去するフィルタ50と、を具備する。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

処理液供給源に第1管路を介して接続する一時貯留容器と、 上記一時貯留容器に第2管路を介して接続され、被処理基板に処理液を吐出する供給ノズルと、 上記第2管路に介設され、上記一時貯留容器から上記第2管路を介して上記供給ノズルに処理液を供給する吐出用ポンプと、 上記一時貯留容器内を負圧にして、上記一時貯留容器内の処理液内に混入した気泡を排出するための脱気機構と、 上記一時貯留容器内に形成され、上記処理液供給源から上記第1管路を介して供給される処理液を貯留可能な流入槽と、 上記一時貯留容器内に形成され、上記流入槽からオーバーフローした処理液を貯留すると共に、上記第2管路に接続する流出槽と、 上記流出槽と上記第1管路を接続する第3管路と、 上記第1管路と上記第3管路の接続部に介設され、上記流入槽と、上記処理液供給源側又は上記流出槽側との連通を選択的に切り換え可能な切換弁と、 上記切換弁の二次側の上記第1管路に介設され、上記処理液供給源から上記第1管路を介して上記流入槽への処理液の供給と、上記流出槽から上記第3管路及び上記第1管路を介して上記流入槽への処理液の供給を行う供給・循環用ポンプと、 上記第3管路もしくは上記切換弁の二次側の上記第1管路の少なくともいずれか一方に介設され、処理液を濾過して異物を除去すると共に、処理液中に混入している気泡を除去するフィルタと、を具備する、 ことを特徴とする液処理装置。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (2件)：

H01L21/30 564Z ,  H01L21/30 569Z

Fターム (9件)：

4F042AA07 ,  4F042AB00 ,  4F042BA06 ,  4F042BA09 ,  4F042CA01 ,  4F042CB20 ,  4F042CB25 ,  5F146JA27 ,  5F146LA19