特許

J-GLOBAL ID：201303048630979421

吸着盤

発明者： 高波 浩 ,  長妻 忠浩 ,  伊藤 哲雄
出願人/特許権者： 株式会社タンケンシールセーコウ
代理人 (6件)： 辻居 幸一 ,  熊倉 禎男 ,  弟子丸 健 ,  井野 砂里 ,  松下 満 ,  倉澤 伊知郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-106835
特許番号：特許第5140199号
出願日： 2012年05月08日
要約：

【課題】内部に積層されたヒータに開口部が形成されていても、吸着パッドの表面を均一な温度に加熱することができる吸着盤を提供すること。 【解決手段】本発明によれば、薄板状の被吸着物を吸着する吸着盤1であって、板状の多孔質パッド2と、多孔質パッドの下方に積層されたパッド支持体4と、多孔質パッドとパッド支持体との間に設けられた減圧空間2a、2bと、開口部8aが形成されパッド支持体の下方に積層されたヒータ8と、ヒータの開口部の上方領域の少なくとも一部を覆うように多孔質パッドとヒータとの間に配置された伝熱板6とを備え、伝熱板が、パッド支持体より熱伝導率が高い材料で構成されている吸着盤が提供される。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

【請求項1】 薄板状の被吸着物を吸着する吸着盤であって、 板状の多孔質パッドと、 該多孔質パッドの下方に積層されたパッド支持体と、 前記多孔質パッドとパッド支持体との間に設けられた減圧空間と、 開口部が形成され前記パッド支持体の下方に積層されたヒータと、 前記ヒータの開口部の上方領域を完全に覆うように前記多孔質パッドと前記ヒータとの間に配置された伝熱板とを備え、 前記伝熱板が、前記パッド支持体より熱伝導率が高い材料で構成され、前記パッド支持体とヒータとの間で前記パッド支持体の下面に配置されている、 ことを特徴とする吸着盤。

IPC (2件)：

H01L 21/683 ( 200 6.01) ,  B25J 15/06 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01L 21/68 P ,  B25J 15/06 Z

引用特許：

出願人引用 (1件)

• チャックテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-161276   出願人：株式会社ディスコ

審査官引用 (1件)

• チャックテーブル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-161276   出願人：株式会社ディスコ