特許
J-GLOBAL ID：201303048781858529

センサー素子、センサーデバイスおよび電子機器

発明者：
浅利 友隆

浅利 友隆 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 増田 達哉 ,  朝比 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-056457
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190303
出願日： 2012年03月13日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
要約：
【課題】優れた検出感度を有するセンサー素子を提供すること、また、かかるセンサー素子を備える信頼性に優れたセンサーデバイスおよび電子機器を提供すること。【解決手段】センサー素子2は、基部21と、基部21から延出された検出用振動腕23と、検出用振動腕23に設けられ、検出用振動腕23の屈曲振動を検出する検出部41、42とを備え、検出部41、42は、第1の電極層、第1の電極層に対して検出用振動腕23とは反対側に設けられた第2の電極層、および、第1の電極層と第2の電極層との間に設けられた圧電体層を有し、検出部41、42は、検出用振動腕23と基部21との境界部を跨るように設けられた部分414、424を有し、当該部分414、424が検出用振動腕23および基部21の側面に沿って検出用振動腕23の延出方向に直交する方向成分を含む方向に延在するように屈曲または湾曲している。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基部と、 前記基部から延出された振動腕と、 前記振動腕と前記基部とに設けられ、前記振動腕の屈曲振動を検出する検出部とを備え、 前記検出部は、第1の電極層、第2の電極層、および、前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に設けられた圧電体層を有し、 前記検出部は、前記振動腕および前記基部の側面に沿って前記振動腕の延出方向に直交する方向成分を含む方向に延在するように屈曲または湾曲していることを特徴とするセンサー素子。
IPC (5件)：
G01C 19/562 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/187
FI (7件)：
G01C19/56 128 ,  H01L41/08 Z ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z
Fターム (8件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB02 ,  2F105BB04 ,  2F105BB14 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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