特許

J-GLOBAL ID：201303049602160740

水蒸気透過率測定方法

発明者： 山根 宏明 ,  坂元 豪介
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (7件)： 中島 司朗 ,  小林 国人 ,  川畑 孝二 ,  木村 公一 ,  土田 幸雄 ,  中島 安洋 ,  小林 義周
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-115923
公開番号（公開出願番号）：特開2013-242230
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：

【課題】感度に優れた水蒸気透過率の測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】第1に、評価薄膜2上に、水と結合することで電気抵抗率が変化する物質からなる特性変化層4を形成する。第2に、特性変化層4を、第1封止部材5と、第1部材5を覆うように設けられた第2封止部材8とを含む2重構造の封止ユニットであって、第1封止部材5と前記第2封止部材8との間にゲッター材11が配置された封止ユニットで覆い封止する。第3に、特性変化層4の特性の変化を検出し、検出結果に基づいて評価薄膜2の水蒸気透過率を求める。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薄膜の水蒸気透過率を測定する水蒸気透過率測定方法であって、 薄膜上に、水と結合することで特性が変化する物質からなる特性変化層を形成する第1工程と、 前記特性変化層を、第1封止部材と、前記第1部材を覆うように設けられた第2封止部材とを含む多重構造の封止ユニットであって、前記第1封止部材と前記第2封止部材との間に水吸着物質が配置された封止ユニットで覆い封止する第2工程と、 前記第2工程後の基準時における前記特性変化層の特性と、前記基準時から所定時間後における前記特性変化層の特性とを検出し、検出した特性変化層の特性の変化に基づいて前記薄膜の水蒸気透過率を求める第3工程とを含む ことを特徴とする水蒸気透過率測定方法。

IPC (5件)：

G01N 27/04 ,  G01N 17/00 ,  G01N 15/08 ,  G01N 21/59 ,  G01N 27/12

FI (5件)：

G01N27/04 A ,  G01N17/00 ,  G01N15/08 C ,  G01N21/59 M ,  G01N27/12 Z

Fターム (31件)：

2G046AA32 ,  2G046BA01 ,  2G046BA09 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BC05 ,  2G046BF01 ,  2G046BG01 ,  2G046CA09 ,  2G046DC13 ,  2G046EB09 ,  2G046FB00 ,  2G046FE03 ,  2G046FE07 ,  2G050AA02 ,  2G050BA06 ,  2G050BA09 ,  2G050CA10 ,  2G050EA01 ,  2G050EA02 ,  2G050EB02 ,  2G050EB07 ,  2G050EC01 ,  2G059AA02 ,  2G059EE01 ,  2G059FF05 ,  2G059KK01 ,  2G060AA01 ,  2G060AB02 ,  2G060AF07 ,  2G060AG10