特許

J-GLOBAL ID：201303049664578406

電子部品

発明者： 佐野 彰彦 ,  藤原 剛史 ,  丸山 英徳 ,  積 知範
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-177341
公開番号（公開出願番号）：特開2013-041733
出願日： 2011年08月12日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：

【課題】静電アクチュエータと当該静電アクチュエータを駆動するための駆動集積回路を縦方向に集積することによって実装面積を小さくする。【解決手段】 第1部材32には静電アクチュエータ46を設けている。第2部材33には、静電アクチュエータ46を駆動するための駆動用IC72を設けている。第1部材32と第2部材33は、静電アクチュエータ46を設けた面と駆動用IC72を設けた面を対向させて、外周部の接合部35と接合部36で接合されている。第1部材32、第2部材33及び接合部35、36によって構成された空隙部34内には、静電アクチュエータ46と駆動用IC72が気密的に封止されている。駆動用IC72に用いられているコンデンサ75は、コンデンサ75に発生する電界の向きと静電アクチュエータ46を駆動するための電界の向きとが交差、好ましくは直交するように配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

静電アクチュエータを設けた第1部材、 前記静電アクチュエータを駆動するための駆動集積回路を設けた第2部材、 前記第1部材の静電アクチュエータを設けた面と前記第2部材の前記駆動集積回路を設けた面を互いに向かい合わせた状態で前記第1部材と前記第2部材を接合する接合部、及び、 前記第1部材と前記第2部材と前記接合部によって構成された、前記静電アクチュエータ及び前記駆動集積回路を納めるための空隙部 を備えた電子部品。

IPC (2件)：

H01H 59/00 ,  B81B 7/02

FI (2件)：

H01H59/00 ,  B81B7/02

Fターム (10件)：

3C081AA11 ,  3C081BA07 ,  3C081BA30 ,  3C081BA33 ,  3C081BA43 ,  3C081BA48 ,  3C081BA53 ,  3C081CA03 ,  3C081CA13 ,  3C081EA23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 機能デバイス及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-179645   出願人：国立大学法人東北大学
• マイクロマシンスイッチ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-436253   出願人：有限会社ディアックス