原子間力顕微鏡を用いた誘電特性測定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人京都国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-190981
公開番号（公開出願番号）：特開2013-053878
出願日： 2011年09月01日
公開日（公表日）： 2013年03月21日
要約：

【課題】液中に浸漬された試料上の局所的な誘電緩和特性などの誘電特性の測定を可能とする。【解決手段】原子間力顕微鏡のカンチレバー5に形成した金属薄膜5aと導電性の試料3が載置された試料ホルダ2との間に、励振電圧生成部21から、周波数がf0である搬送波電圧を周波数fmの変調波電圧で振幅変調した励振電圧を印加する。周波数f0がカンチレバー5と液体との界面の電気二重層の誘電緩和周波数より高くなると、探針6と試料3との間にはたらく静電気力による振動がカンチレバー5に誘起される。この静電気力は探針-試料間距離依存性をもつため、その特性の周波数分散を調べることにより、試料上の局所的な誘電特性を得ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

カンチレバーの先端に設けられた探針を液体中に浸漬された導電性の試料の表面に近接させ、該カンチレバーをその共振周波数で振動させたときに前記探針と前記試料との間に働く相互作用を検出するダイナミックモード原子間力顕微鏡を用い、前記試料の誘電特性を測定する測定方法であって、前記カンチレバーにあって前記探針が位置する面又はその背面の少なくともいずれかに形成された導電体部と、間に液体を挟んで前記導電体部に対向する前記試料との間に、前記カンチレバーの共振周波数よりも高い周波数の搬送波をそれよりも低い周波数の変調波で振幅変調して生成した交流電圧を印加することによって、前記カンチレバーを静電気力により変調周波数で以て振動させ、その振動成分に基づいて、探針-試料間に作用する静電気力と探針-試料間距離との関係の搬送波周波数依存性を求め、その周波数と静電気力との関係から試料の誘電特性に関する情報を得ることを特徴とする誘電特性測定方法。

IPC (2件)：

G01Q 60/30 , G01Q 30/14

FI (2件)：

G01Q60/30 , G01Q30/14

引用特許：

出願人引用 (4件)

走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-321315 出願人：オリンパス株式会社
液中静電力検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-201138 出願人：株式会社東芝
液中電位計測方法及び液中電位計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-200432 出願人：TDK株式会社, 国立大学法人東京農工大学

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引用文献：

出願人引用 (2件)

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