特許
J-GLOBAL ID：201303049987420992

容量性圧力センサー

発明者：
ポール・ディー・ルーカス

ポール・ディー・ルーカス について


出願人/特許権者：
エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド

エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド について


代理人 (6件)： 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  中村 誠 ,  野河 信久 ,  白根 俊郎 ,  峰 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-196496
公開番号（公開出願番号）：特開2013-007758
出願日： 2012年09月06日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：
【課題】圧力変換器内の、改良された電極と、電極のための取り付け具とを提供する。【解決手段】圧力変換器アッセンブリは、第1の本体と、第2の本体と、ダイアフラムと、電極とを有する。第1の本体とダイアフラムとは、第1のチャンバを、また、第2の本体とダイアフラムとは、第2のチャンバを形成している。電極は、第1のチャンバ内に配置されている。電極とダイアフラムとの間のキャパシタンスは、チャンバの間の圧力差を表す。電極は、ハブから吊り下げられ、スポーク取り付けされている。幾つかの実施形態では、電極は、完全に金属である。電極は、導電性フィルムが形成されたセラミック製ディスクを有しても良い。このディスクは、セラミック製のロッドを備えたハウジングに結合されている。変換器はまた、温度の変化に応じたねじりを減少するために、ハウジングに接続された、熱係数の低い膨張部材を有する。【選択図】図24
請求項（抜粋）：
(A)内側キャビティを規定し、第1の熱膨張係数を有するハウジング部材と、 (B)このハウジング部材中に設けられ、内側キャビティを第1のチャンバと第2のチャンバとに分けており、一部が、第2のチャンバ内の圧力より大きい第1のチャンバ内の圧力に対応して第1の方向に曲がり、かつ第1のチャンバ内の圧力より大きい第2のチャンバ内の圧力に対応して第1の方向とは逆の第2の方向に曲がるダイアフラムと、 (C)前記第1のチャンバ内に配置され、前記ハウジング部材に接合され、コンダクターを備え、第1の熱膨張係数と異なる第2の熱膨張係数を有する電極と、 (D)前記電極がハウジング部材に接合されているところの近くで、ハウジング部材に堅く接続され、前記第1及び第2の熱膨張係数より低い第3の熱膨張係数を有する、低熱膨張係数の部材、とを具備する、圧力変換器アッセンブリ。
IPC (2件)：
G01L 9/12 ,  G01L 19/04
FI (2件)：
G01L9/12 ,  G01L19/04
Fターム (7件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD01 ,  2F055EE25 ,  2F055FF01 ,  2F055GG12
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • 静電容量式圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-154310   出願人：松下電器産業株式会社
  • 容量性圧力センサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-507653   出願人：セトラシステムズインコーポレイテッド
審査官引用 (2件)
  • 静電容量式圧力センサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-154310   出願人：松下電器産業株式会社
  • 容量性圧力センサ
    公報種別：公表公報   出願番号：特願平7-507653   出願人：セトラシステムズインコーポレイテッド

前のページに戻る

TOP

BOTTOM