特許
J-GLOBAL ID：201303050201671570
形状測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-083244
公開番号（公開出願番号）：特開2013-213695
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：
【課題】横方向については共焦点型の分解能を有し、縦方向については波長オーダーまたはそれ以下の分解能を有する三次元の形状計測装置を提供する。【解決手段】コヒーレント光源12と、走査光学系21と、第1検出光学系31とを備えた共焦点光学系1Aと、試料Sの表面上までの高さを変化させる可動機構29とを備え、共焦点光学系1Aに光束を分岐するビームスプリッタ24を設けると共に、ビームスプリッタ24により分岐された一方の光束を反射し第1検出光学系31に入射させる参照ミラー26を設け、試料S上の測定対象部位の隣接する3箇所以上の測定高さの干渉出力を検出し、この3箇所以上の測定高さの近傍の干渉出力のピーク位置と振幅を求める操作を各測定高さ毎に繰り返し行い、得られた干渉パターンの振幅の最大値及びその高さを基に試料Sの各測定対象部位の高さ及び出射光量を算出する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
第1の光源と、前記第1の光源から出射した光束を試料の表面上にて走査しつつ前記表面上に収束させる走査光学系と、前記試料と相互作用した光束を検出する検出光学系とを備えた共焦点光学系と、前記試料の表面上までの高さを変化させる可変手段とを備えた形状測定装置であって、
前記共焦点光学系に前記光束を分岐する第1の分岐手段を設けると共に、前記第1の分岐手段により分岐された一方の光束を反射し前記検出光学系に入射させる反射手段を設け、
前記試料上の測定対象部位の隣接する3箇所以上の測定高さの干渉出力を検出し、この3箇所以上の測定高さの近傍の干渉出力のピーク位置と振幅を求める操作を各測定高さ毎に繰り返し行い、得られた干渉パターンの振幅の最大値及びその高さを基に前記試料の各測定対象部位の高さ及び出射光量を算出することを特徴とする形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (22件)：
2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065FF10
, 2F065FF52
, 2F065GG02
, 2F065GG03
, 2F065GG04
, 2F065GG24
, 2F065LL00
, 2F065LL04
, 2F065LL10
, 2F065LL13
, 2F065LL30
, 2F065LL46
, 2F065LL62
, 2F065MM16
, 2F065PP02
, 2F065QQ00
, 2F065QQ17
, 2F065SS02
, 2F065SS13
