特許
J-GLOBAL ID：201303050541326826
真空ポンプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054348
公開番号（公開出願番号）：特開2013-185578
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】ロータの回転方向を容易に検出することができる真空ポンプの提供。【解決手段】真空ポンプにおいて、振れ回り演算部425Aは、ラジアル変位センサおよび回転センサ33の各検出値に基づいて正回転方向の振れ回り量Gを演算し、振れ回り演算部425Bは、ラジアル変位センサおよび回転センサ33の各検出値に基づいて逆回転方向の振れ回り量Grを演算する。そして、主制御部40は、これらの振れ回り量G,Grに基づいて、すなわち振れ回り量G,Grと閾値A,Bとの大小関係を比較することにより、ロータ30の回転方向を判定する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
排気機能部が形成されたロータと、
前記ロータを非接触支持する磁気軸受と、
前記ロータのラジアル方向の変位を検出するラジアル変位センサと、
前記ロータを回転駆動するモータと、
前記ロータの回転数を検出する回転センサと、
前記ラジアル変位センサの検出値および前記回転センサの検出値に基づいて、前記ロータの正回転方向の振れ回り量を演算する第1の演算部と、
前記ラジアル変位センサの検出値および前記回転センサの検出値に基づいて、前記ロータの逆回転方向の振れ回り量を演算する第2の演算部と、
前記正回転方向の振れ回り量および前記逆回転方向の振れ回り量に基づいて前記ロータの回転方向を判定する判定部と、を備えた真空ポンプ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
F04D19/04 H
, F04D19/04 A
, F16C32/04 A
3H131AA02
, 3H131BA09
, 3H131BA12
, 3H131BA15
, 3H131CA13
, 3J102AA01
, 3J102BA03
, 3J102BA17
, 3J102BA18
, 3J102CA12
, 3J102DA02
, 3J102DA03
, 3J102DB04
, 3J102DB05
, 3J102DB08
, 3J102DB37
, 3J102GA06
