特許
J-GLOBAL ID：201303051119174998
深堀り反応性イオンエッチングで製造されたセンサを組み入れた血管内圧力装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山田 卓二
, 田中 光雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-111062
公開番号（公開出願番号）：特開2013-217928
出願日： 2013年05月27日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】血管内圧力センサの加工時に印加するストレスを軽減する。【解決手段】アセンブリはフォトリソグラフィとDRIEのソリッドステート装置製造法を用いて部分的に製造される。第1の形態では、センサチップ10は、センサハウジング12の内壁に実質的に接触する拡大部と、該拡大部よりも狭い片持ち部を有する。非長方形の外形は、フォトリソグラフィをDRIE法と組み合わせて用いることによって形成されている。別の形態では、センサチップ10はハウジング12の幅方向に配置されており、ハウジングに必要な長さが小さくしてある。他の形態では、センサチップ10は、センサチップ10上の信号リード線に接続する信号ワイヤを受ける一つ又は複数の切り欠きを有する。センサチップ10の外形と切り欠きは、フォトリソグラフィをDRIE法と組み合わせて用いることによって形成されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基端と末端を有するフレキシブルな細長い部材と、
上記フレキシブルな細長い部材の末端に設けられたハウジングと、
上記ハウジング内に含まれるセンサチップを有し、
上記センサチップは、上記ハウジングの内壁に接触する拡大部と上記拡大部よりも細い片持ち部とを有し、
上記片持ち部は、少なくとも一つのピエゾ抵抗要素を有するダイヤフラムを備えており、
上記センサチップの一つ又は複数の物理的特徴が、フォトリソグラフィとDRIE法を組み合わせて用いることにより形成されている、血管内圧力センサアセンブリ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
2F055AA05
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055CC06
, 2F055DD04
, 2F055EE14
, 2F055FF01
, 2F055FF23
, 2F055FF43
, 2F055GG12
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (9件)
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