特許

J-GLOBAL ID：201303051254029892

超純水製造装置

発明者： 飯山 真充 ,  松井 恭則 ,  小坂 健吾 ,  粟野 翔太郎
出願人/特許権者： 野村マイクロ・サイエンス株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人サクラ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-088523
公開番号（公開出願番号）：特開2013-215679
出願日： 2012年04月09日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：

【課題】ユースポイントでの使用量の変動や、各装置のメンテナンス時にも超高水質を安定に維持し、製造される超純水の流量変動を抑制できる超純水製造装置の提供。【解決手段】前処理システム11と、1次純水システム12と、2次純水システム13とを順に備える超純水製造装置において、1次純水システム12は、前処理システム11の処理水が貯水される貯水ピット2からポンプPによりそれぞれ独立して給水される、イオン交換樹脂装置103及び逆浸透膜装置105を含んで貯水ピットを介在させず構成された、同じ構成の純水システムからなる複数の系列であり、前記系列の任意の1系列を停止させた状態で、他の処理系列を運転可能とした超純水製造装置。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

前処理システムと、1次純水システムと、2次純水システムとを順に備える超純水製造装置において、 前記1次純水システムは、前記前処理システムの処理水が貯水される貯水ピットからポンプによりそれぞれ独立して給水される、イオン交換樹脂装置及び逆浸透膜装置を含んで貯水ピットを介在させず構成された、同じ構成の純水システムからなる複数の処理系列であり、 前記系列の任意の処理系列を停止させた状態で、他の処理系列を運転可能としたことを特徴とする超純水製造装置。

IPC (14件)：

C02F 1/42 ,  C02F 9/00 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/20 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/28 ,  B01J 49/00 ,  B01D 61/58 ,  B01D 61/44 ,  B01D 61/04 ,  B01D 61/16 ,  B01D 61/48 ,  C02F 1/469 ,  B01D 61/00

FI (23件)：

C02F1/42 A ,  C02F9/00 502Z ,  C02F9/00 502J ,  C02F9/00 502F ,  C02F9/00 502N ,  C02F9/00 502H ,  C02F9/00 503A ,  C02F9/00 504B ,  C02F9/00 504D ,  C02F1/44 J ,  C02F1/20 A ,  C02F1/32 ,  C02F1/28 D ,  B01J49/00 F ,  B01J49/00 H ,  B01J49/00 G ,  B01D61/58 ,  B01D61/44 520 ,  B01D61/04 ,  B01D61/16 ,  B01D61/48 ,  C02F1/46 103 ,  B01D61/00

Fターム (87件)：

4D006GA02 ,  4D006GA03 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA17 ,  4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006JA57A ,  4D006JA67A ,  4D006KA01 ,  4D006KA53 ,  4D006KA55 ,  4D006KA56 ,  4D006KA57 ,  4D006KA61 ,  4D006KA72 ,  4D006KA81 ,  4D006KB04 ,  4D006KB11 ,  4D006KB12 ,  4D006KB15 ,  4D006KE15Q ,  4D006MA01 ,  4D006MC18 ,  4D006MC54 ,  4D006MC62 ,  4D006PA01 ,  4D006PB02 ,  4D006PB04 ,  4D006PB05 ,  4D006PB08 ,  4D006PC02 ,  4D025AA04 ,  4D025AA09 ,  4D025BA09 ,  4D025BA10 ,  4D025BA14 ,  4D025BA15 ,  4D025BA17 ,  4D025BA22 ,  4D025BA25 ,  4D025BA27 ,  4D025BB02 ,  4D025BB03 ,  4D025BB04 ,  4D025BB09 ,  4D025BB18 ,  4D025BB19 ,  4D025CA10 ,  4D025DA02 ,  4D025DA04 ,  4D025DA05 ,  4D025DA10 ,  4D037AA03 ,  4D037AA05 ,  4D037AA11 ,  4D037BA18 ,  4D037BA23 ,  4D037CA01 ,  4D037CA03 ,  4D037CA15 ,  4D061DA02 ,  4D061DA03 ,  4D061DA08 ,  4D061DB13 ,  4D061EA09 ,  4D061EB01 ,  4D061FA03 ,  4D061FA06 ,  4D061FA07 ,  4D061FA08 ,  4D061FA09 ,  4D624AA01 ,  4D624AA02 ,  4D624AA03 ,  4D624AA04 ,  4D624AA05 ,  4D624BA02 ,  4D624BB01 ,  4D624CA01 ,  4D624CA05 ,  4D624DB01 ,  4D624DB03 ,  4D624DB04 ,  4D624DB05 ,  4D624DB10 ,  4D624DB19