特許
J-GLOBAL ID:201303051394075347
磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲットおよびその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉浦 秀幸
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-012628
公開番号(公開出願番号):特開2012-178210
特許番号:特許第5041261号
出願日: 2012年01月25日
公開日(公表日): 2012年09月13日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一般式:{(FexPt100-x)(100-y)Ay}(100-z)Cz、ここでAがAuおよびCuの少なくとも一方からなる金属であり、原子比により30≦x≦80、1≦y≦30、3≦z≦63で表される組成を有した焼結体からなることを特徴とする磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット。
IPC (6件):
C23C 14/34 ( 200 6.01)
, G11B 5/851 ( 200 6.01)
, C22C 33/02 ( 200 6.01)
, C22C 5/04 ( 200 6.01)
, C22C 38/00 ( 200 6.01)
, B22F 3/14 ( 200 6.01)
FI (7件):
C23C 14/34 A
, G11B 5/851
, C22C 33/02 G
, C22C 33/02 103 A
, C22C 5/04
, C22C 38/00 304
, B22F 3/14 A
引用特許:
引用文献:
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