特許

J-GLOBAL ID：201303051626591983

受光素子

発明者： 中嶋 和利 ,  廣畑 徹 ,  新垣 実 ,  赤堀 亘
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-207713
公開番号（公開出願番号）：特開2013-069892
出願日： 2011年09月22日
公開日（公表日）： 2013年04月18日
要約：

【課題】設計自由度を低下させることなく、感度の向上を図ることができる受光素子を提供する。【解決手段】受光素子1は、入射光を表面プラズモンに変換する周期構造領域1aと、周期構造領域1aの外縁に沿うように配置され、表面プラズモンに応じて電荷を発生する光電変換領域1bと、周期構造領域1aの内側に位置するように配置され、表面プラズモンに応じて電荷を発生する光電変換領域1cと、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

入射光を表面プラズモンに変換する周期構造領域と、 前記周期構造領域の外縁に沿うように配置され、表面プラズモンに応じて電荷を発生する第一光電変換領域と、 前記周期構造領域の内側に位置するように配置され、表面プラズモンに応じて電荷を発生する第二光電変換領域と、を備えることを特徴とする受光素子。

IPC (2件)：

H01L 31/108 ,  H01L 31/10

FI (2件)：

H01L31/10 C ,  H01L31/10 A

Fターム (14件)：

5F049MA02 ,  5F049MA05 ,  5F049MB07 ,  5F049NA01 ,  5F049NA03 ,  5F049PA04 ,  5F049PA14 ,  5F049QA20 ,  5F049SE05 ,  5F049SE12 ,  5F049SS04 ,  5F049SZ03 ,  5F049SZ12 ,  5F049SZ13