特許
J-GLOBAL ID：201303051795585267
防着板支持部材およびこれを備えたイオン源
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-151326
公開番号（公開出願番号）：特開2013-020737
出願日： 2011年07月08日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：
【課題】プラズマ生成容器への防着板の取り付け、取り外しに係る作業効率を改善する。【解決手段】プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器4内に防着板20を防着板支持部材15により取り付ける。この防着板支持部材15は、プラズマ生成容器4の内壁に少なくとも一部が当接する本体部と、本体部より延設された端部を有するとともに、プラズマ生成容器4に防着板支持部材15を組み付けたとき、端部はプラズマ生成容器4の内壁より離間している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
プラズマ処理装置やイオンビーム照射装置で用いられるプラズマ生成容器内に配置される防着板支持部材であって、
プラズマ生成容器の内壁に少なくとも一部が当接する本体部と、
前記本体部より延設された端部を有するとともに、プラズマ生成容器に防着板支持部材を組み付けたとき、前記端部がプラズマ生成容器の内壁より離間していることを特徴とする防着板支持部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (2件)：
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